[发明专利]一种差压传感器

说明书

本发明提出了一种差压传感器，涉及传感器领域。包括：芯体，芯体设置有调理电路，芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜，薄膜具有敏感电桥；其能够实现多个传统差压传感器配合使用才能实现的功能，降低了对安装空间、安装难度的要求，同时节省成本。

技术领域

本发明涉及传感器领域，具体而言，涉及一种差压传感器。

背景技术

差压传感器目的是测量两个压力之间的差值，实际工程中，通常需要测量某一设备或部件不同“端点”之间的压差。现在市场上常见差压传感器内部通常设有两枚芯体，分别测量两个不同的压力场。多芯体设置在一定程度上影响两个测量值的一致性，且零件数量多，整体结构设计复杂。而且在生产中，同一部机器或同一部件中有时需要同时监测多个压力差，这就需要安装多个差压传感器，需要较大的安装空间，安装困难，且多差压传感器配合使用成本较高。

发明内容

针对背景技术中的不足，本发明的目的在于提供一种差压传感器，其能够实现多个传统差压传感器配合使用才能实现的功能，降低了对安装空间、安装难度的要求，同时节省成本。

本发明的实施例是这样实现的：

本申请实施例提供一种差压传感器，包括芯体，芯体设置有调理电路，芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜，薄膜具有敏感电桥。

在本发明的一些实施例中，上述芯体的形状包括圆形或多边形。

在本发明的一些实施例中，上述多组高低压应力集中孔组按圆周或矩阵排布。

相对于现有技术，本发明的实施例至少具有如下优点或有益效果：

本发明的实施例提供一种差压传感器，包括芯体，芯体设置有调理电路，芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜，薄膜具有敏感电桥。本发明通过在一枚芯体上加工出多组高低压应力集中孔组，每组高低压应力集中孔组均包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，分别测量高压、低压两个压力场。每个应力孔的镀膜面通过纳米薄膜技术和光刻技术布置有敏感电桥，在压力作用下薄膜发生应变，引起敏感电桥电阻阻值变化进而输出信号。芯体之外设置有调理电路，原始输出信号通过调理电路处理和运算后，最终输出两个压力场的差值。当芯体上布置有多组高低压应力集中孔时，同理可得每组高低压压力场的差压。本发明改变了传统差压传感器需要两枚芯体的设置，而本发明只需要一枚芯体就能达到测量两个压力场之间压差的功能，减少零件数量，简化了整体结构，减少生产组装流程，降低生产成本。本发明的差压传感器芯体可同时测量一组或多组的高低压力的压差，当同一机器或部件的生产流程中需要检测多个位置的压力差时，本发明一个传感器就能实现多个传统差压传感器配合使用才能实现的功能，降低用户成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例整体的示意图；

图2为本发明实施例高低压应力集中孔组的多种排列示意图；

图3为本发明实施例另一种实施方式。

具体实施方式

请参照图1-3，所示为本发明的实施例。