[发明专利]一种带直边晶圆的边缘辐照方法、装置和设备

权利要求书

1.一种带直边晶圆的边缘辐照方法，其特征在于，包括：

若带直边晶圆被真空吸盘吸附，且所述带直边晶圆的中心与所述真空吸盘的中心重合，则调整光纤传感器，使所述光纤传感器的光纤照射位置处于所述带直边晶圆的外圆环与直边中点所在圆环之间；

以所述带直边晶圆的中心为原点建立三维坐标系，使所述带直边晶圆跟随所述真空吸盘沿所述三维坐标系的Z轴旋转；

当所述光纤传感器的光路处于非导通状态时，以当前位置作为初始位置旋转所述带直边晶圆，通过所述光纤传感器获取第一次光纤信号变化和第二次光纤信号变化，根据所述第一次光纤信号变化和第二次光纤信号变化对应的角度计算所述带直边晶圆的目标旋转角度；

若所述带直边晶圆在所述目标旋转角度停止，则控制紫外光源对所述带直边晶圆的边缘进行辐照。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带直边晶圆的外圆环与直边中点所在圆环具有相同的圆心，且所述圆心与所述三维坐标系的原点重合。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若所述光纤传感器的光路处于导通状态，则使所述带直边晶圆旋转至所述光纤传感器的光路处于非导通状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一次光纤信号变化和第二次光纤信号变化对应的角度计算所述带直边晶圆的目标旋转角度，包括：

θ₂-θ₁＜90°

其中，θ₁为第一角度；θ₂为第二角度；θ_s为带直边晶圆的目标旋转角度；θ₀为在所述三维坐标系的XY平面，以光纤照射位置与原点为端点的线段和Y轴正方向之间的夹角，且|θ₀|90°。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，当获取到第一次光纤信号变化时，若所述带直边晶圆从初始位置开始到所述第一次光纤信号变化位置的旋转角度不大于360°，则将对应的旋转角度作为第一角度；若所述第一次光纤信号变化对应的角度大于360°，则将所述第一次光纤信号变化对应的角度与n个360°之差作为所述第一角度；所述第一角度大于0°且小于360°；

当获取到第二次光纤信号变化时，若所述第二次光纤信号变化对应的角度不大于360°，则将该角度作为第二角度；若所述第二次光纤信号变化对应的角度大于360°，则将该角度与n个360°之差作为所述第二角度；所述第二角度大于0°且小于360°；

其中，n为不小于1的正整数。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一次光纤信号变化对应的角度为所述带直边晶圆从初始位置开始到所述第一次光纤信号变化位置的旋转角度；

所述第二次光纤信号变化对应的角度为所述带直边晶圆从初始位置开始到所述第二次光纤信号变化位置的旋转角度。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述紫外光源设置于所述带直边晶圆一侧，且当所述带直边晶圆的直边在所述紫外光源一侧与所述三维坐标系的X轴平行时，所述紫外光源的移动路径与所述带直边晶圆的直边重合。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述带直边晶圆在所述目标旋转角度停止时，还包括：

获取所述带直边晶圆的直边的图像，判断所述带直边晶圆的直边是否与所述三维坐标系的X轴平行，若是，则控制所述紫外光源对所述带直边晶圆的边缘进行辐照。

9.根据权利要求1或8所述的方法，其特征在于，所述控制所述紫外光源对所述带直边晶圆进行边缘辐照，包括：

所述紫外光源沿所述三维坐标系的X轴往复平移运动，对所述带直边晶圆的直边边缘进行辐照；

当所述紫外光源重复到达所述带直边晶圆的直边一侧端点时，控制真空吸盘旋转，使所述紫外光源从所述带直边晶圆的直边一侧端点开始，沿所述带直边晶圆的边缘到达所述带直边晶圆的直边另一侧端点，对所述带直边晶圆的非直边边缘进行辐照。