[发明专利]一种平面靶材的绑定方法

权利要求书

1.一种平面靶材的绑定方法，其特征在于包括以下步骤：

S1、分别制作出靶材板(2)和坯板，所述坯板包括与背板(1)相同的主体，且该主体上设置有凸台(12)，所述凸台(12)上设置有凹台(13)，所述凹台(13)的深度大于靶材板(2)密度与高度的乘积再除以铟熔液的密度所得的数值；

S2、将坯板设置有凸台(12)的一侧朝上放在加热平台(4)上加热，靶材板(2)需要涂铟的一侧朝上放在加热平台(4)上加热，之后将熔化的铟熔液倒在凹台(13)中并使铟熔液与凹台(13)的底面浸润，将熔化的铟熔液涂抹在靶材板(2)上表面并使铟熔液与靶材板(2)的上表面浸润；

S3、将靶材板(2)涂铟的面朝下放入凹台(13)中；

S4、在加热平台(4)上放置两个支撑条(3)，该两个支撑条(3)分别位于坯板的两侧；所述支撑条(3)的高度大于凹台(13)的底面距离坯板底面之间的距离与靶材板(2)的厚度之和，且小于步骤S3中所得靶材板(2)与坯板组合体的高度；

S5、将压板(5)放置在步骤S4中所得的靶材板(2)的顶面，压板(5)使得靶材板(2)向下移动直到压板(5)的两侧与支撑条(3)的顶面接触；

S6、对步骤S5所得的组合体进行冷却，使得铟熔液凝固；

S7、对步骤S6所得的组合体进行机加工，得到所需平面靶材。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的绑定方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述坯板在凸台(12)两侧的位置还加工有第二压边(14)。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材的绑定方法，其特征在于：所述压板(5)下表面设置有低导热率材料。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种平面靶材的绑定方法，其特征在于：还包括导热板(6)，步骤S2中，先将导热板(6)放置在加热平台(4)上，之后将靶材板(2)和坯板放置在导热板(6)上，且步骤S4中，将支撑条(3)放置在导热板(6)上。