[发明专利]一种平面靶材的绑定方法

说明书

本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板，坯板包括与背板相同的主体，且该主体上设置有凸台，凸台上设置有凹台，之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热，向凹台内和靶材板上涂铟，然后将靶材板放入凹台内，之后在坯板的两侧放置支撑条，然后在靶材板的顶面放置压板，压板的两侧受到支撑条的支撑后靶材板停止向下移动，之后将上述组合体冷却并进行机加工，得到所需平面靶材。本发明的方法制得的靶材，其铟层中缩孔大幅减少，从而实际的粘接率大幅提高，提升了靶材板和背板之间的导热能力，靶材所能承受的功率得到提高，进而可以在使用时提升功率来提升溅射效率。

技术领域

本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。

背景技术

靶材是真空镀膜行业的重要材料。靶材一般分为平面靶材和管状靶材(又称旋转靶材)，顾名思义，平面靶材的形状大体上呈板状，平面靶材的种类很多，其中有很大一部分是陶瓷靶材。大部分陶瓷靶材强度较低，不能直接使用，必需要将其绑定在铜或钛材质的背板上。图4中所示的为一种常见的平面靶材，陶瓷材质的靶材板2绑定在铜背板1上，背板1和靶材板2呈平板状，背板1的宽度大于靶材板2的宽度，使得背板1的两侧形成了第一压边11，在使用时用压条压住第一压边11从而将靶材固定在镀膜设备上。

现有技术中，靶材的绑定一般在加热平台上进行，比如申请号为201520016623.8的专利公开了一种绑定靶材用平台，其作用主要是将背板1和靶材板2加热到需要温度。

现有技术中，在绑定平面靶材时，在将铟熔液涂在背板1上表面后(铟液层的厚度一般在1-2毫米，由于表面张力的作用，在工艺温度180℃-220℃的范围内，此厚度的铟液层可以保持在背板1上而不从其四周流下)，需要在背板1上铟液层的四个角放置垫物，比如平面尺寸约为2毫米见方、厚度为0.3毫米的薄铜片，以防止在将靶材板2放在背板1上时，靶材板2下表面直接与背板1上表面接触导致将铟熔液大部挤出，也可以像申请号为202010333195.7名称为一种平面靶材的绑定方法的专利中记载的“S1加热”中第三步一样，用放置铜丝来控制焊合层的厚度。但是，此种方式带来了一个问题，当铟熔液凝固为固体时，其体积收缩，但是此时背板1与靶材板2之间的间距受垫物的阻挡无法减小，这就导致凝固的铟层中出现很多较小的缩孔，这些较小的缩孔在超声波检查粘接情况时是不去判断的(因为为了提高检测效率，现在超声波探测设备采用的聚焦探头其焦点处声波的横截面积一般都较大，而缩孔直径一般小于0.5毫米，所以探测不出来，就是说存在缩孔也认为粘接良好，只有未粘接的区域较大时才认为此处粘接不良；当然还有一个重要的原因就是这些缩孔是现有技术无法消除的，所以不去管它)，这就导致虽然出具的检测报告中粘接面积率是合格的(一般大于95％)，但是实际上粘接面积率大幅小于此数值，一般至少要低10％，虽然也能在溅射镀膜时正常使用，这里的正常使用指的是按照以前的经验摸索出的参数来使用，但是，其能加载的功率实际上是低的，就是说不能超过按照经验规定的功率，如果超过了，靶材就很容易损坏。如果能消除这些缩孔，就会大幅提升靶材板2和背板1之间的导热能力，那么靶材所能承受的功率就可以就一步得到提高，即可以超过现有的按照以前经验规定的功率，进而可以提升溅射效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种平面靶材的绑定方法。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种平面靶材的绑定方法，包括以下步骤：

S1、分别制作出靶材板和坯板，所述坯板包括与背板相同的主体，且该主体上设置有凸台，所述凸台上设置有凹台，所述凹台的深度大于靶材板密度与高度的乘积再除以铟熔液的密度所得的数值；

S2、将坯板设置有凸台的一侧朝上放在加热平台上加热，靶材板需要涂铟的一侧朝上放在加热平台上加热，之后将熔化的铟熔液倒在凹台中并使铟熔液与凹台的底面浸润，将熔化的铟熔液涂抹在靶材板上表面并使铟熔液与靶材板的上表面浸润；

S3、将靶材板涂铟的面朝下放入凹台中；