[发明专利]3D-CT在线X射线自动检查设备及检测方法

说明书

本发明涉及产品检测技术领域，尤其涉及一种3D‑CT在线X射线自动检查设备及检测方法，设备包括：铅房，呈封闭式箱体状，两侧设置有分别与产线上游、下游对接的铅门，铅房中设置有机架；轨道输送机构，设置于机架上，包括用于输送待检产品的输送线，输送线的两端延伸至两侧铅门，输送线的中部为检测位置；封闭式微焦X射线源运动机构，设置于机架上且位于输送线的下方，包括能XYZ向移动的射线源，用于向待检产品发射X射线；FPD实时影像运动机构，设置于机架上且位于输送线的上方，包括能XYZ向移动的平板探测器，用于接收X射线并输出图像数字信号。上述检测设备及基于检测设备的检测方法可轻松应对不同用户全方位、多角度的产品检测需求。

技术领域

本发明涉及产品检测技术领域，尤其涉及一种3D-CT在线X射线自动检查设备及检测方法，可应用于半导体、SMT、DIP、电子元器件检测，覆盖IC、BGACSP、倒装芯片POP、Void、HIP、Insufficient等多种封装类型检测，还可用于汽车零部件、铝压铸模件、LED、电池、光伏行业以及模压塑料、陶瓷制品等特殊行业检测。

背景技术

目前现有的X射线检测设备功能比较单一，主要分为：2D检测类、2.5D检测类、在线2D检测类、在线CT类、在线2.5D检测类等。然而，此类设备运动机构多采用伺服电机加滚珠丝杠，精度、速度方面存在不足，鉴于目前行业对品质要求升级，对X-ray无损检测要求越来越高，单一功能的机型无法满足客户所有的需求，因此，全功能性无损检测设备重要性越来越高。

发明内容

基于上述问题，本发明的目的在于提供一种3D-CT在线X射线自动检查设备及检测方法，具备2D、2.5D、在线2D、在线2.5D、在线CT等功能，应对多种检测需要。

为达上述目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种3D-CT在线X射线自动检查设备，其包括：

铅房，呈封闭式箱体状，两侧设置有分别与产线上游、下游对接的铅门，铅房中设置有机架；

轨道输送机构，设置于机架上，包括用于输送待检产品的输送线，输送线的两端延伸至两侧铅门，输送线的中部为检测位置；

封闭式微焦X射线源运动机构，设置于机架上且位于输送线的下方，包括能XYZ向移动的射线源，用于向待检产品发射X射线；

FPD实时影像运动机构，设置于机架上且位于输送线的上方，包括能XYZ向移动的平板探测器，用于接收X射线并输出图像数字信号。

特别地，输送线包括固定边和移动边，固定边与移动边上分别设置有同步驱动的输送带，两个输送带对待测产品的两侧边形成支撑。

特别地，固定边和移动边上设置有对射光电传感器，用于确定待测产品是否到达检测位置。

特别地，固定边与移动边上分别设置有压板，压板由气缸驱动伸出固定边或移动边的边沿，对待测产品进行限位。

特别地，两个铅门的内侧分别设置有调宽轨道，固定边横架于两个调宽轨道上，移动边横架于两个调宽轨道上且能相对于固定边往复移动，以根据产品尺寸调节固定边与移动边的间距。

特别地，封闭式微焦X射线源运动机构还包括设置于机架底部的第一X轴直线模组，第一X轴直线模组的滑座上设置有第一Y轴直线模组，第一Y轴直线模组的滑座上设置有第一安装座，第一安装座上设置有第一Z轴直线模组，射线源安装于第一Z轴直线模组的滑座上。

特别地，第一X轴直线模组的两侧设置有导轨，第一Y轴直线模组上设置有与导轨配合的滑块。

特别地，FPD实时影像运动机构还包括设置于机架顶部的第二X轴直线模组，两个第二X轴直线模组并排布置且同步驱动，两个第二X轴直线模组的滑座上连接有第二Y轴直线模组，第二Y轴直线模组的滑座上设置有第二安装座，第二安装座上设置有第二Z轴直线模组，平板探测器安装于第二Z轴直线模组的滑座上。