[发明专利]一种气压可控真空系统

权利要求书

1.一种气压可控真空系统，其特征在于：包括真空腔(1)，所述真空腔(1)上装有一个气体引入接口(5)以及一个真空计(4)，该系统还包括一个自动控制模块(6)，所述真空计(4)与自动控制模块(6)保持电性连接，所述真空腔(1)的外部还连通了一个抽真空装置(3)，所述真空腔(1)与抽真空装置(3)的连接管道上安装有一个电磁比例阀(2)，所述电磁比例阀(2)也与自动控制模块(6)保持电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种气压可控真空系统，其特征在于：所述真空腔(1)可以为封闭的独立真空腔体，也可为与其它真空腔体连接的差分真空腔体。

3.根据权利要求1所述的一种气压可控真空系统，其特征在于：所述电磁比例阀(2)为电压驱动类型或电流驱动类型的比例阀中的任一种。

4.根据权利要求1所述的一种气压可控真空系统，其特征在于：所述抽真空装置(3)指具有一定抽气速率的单个真空泵或者多个真空泵组合，具体可以为分子泵、隔膜泵、涡旋泵等单个泵或多个泵通过串联或并联方式组成的泵组。

5.根据权利要求1所述的一种气压可控真空系统，其特征在于：所述真空计(4)指提供真空腔(1)内气压值的测量器具或传感器，可以为皮拉尼规、冷阴极规、热阴极规、薄膜规、气压变送器中的任一种。

6.根据权利要求1所述的一种气压可控真空系统，其特征在于：所述自动控制模块(6)包括数值读取单元(6-1)、微控制单元(6-2)、驱动单元(6-3)、电源管理单元(6-4)以及通讯单元(6-5)，其中数值读取单元(6-1)用于读取真空计(4)反馈的真空气压值，微控制单元(6-2)用于接收设置的目标真空值，并根据读取的真空气压值，生成控制信号，驱动单元(6-3)接收微控制单元(6-2)产生的控制信号，生成驱动电压驱动电磁比例阀(2)工作，电源管理单元(6-4)用于给自动控制模块(6)系统供电，通讯单元(6-5)用于自动控制模块(6)与外部通讯和数据信息传输。