[发明专利]一种气压可控真空系统

说明书

本发明公开了一种气压可控真空系统，属于真空系统领域，包括真空腔，所述真空腔上装有一个气体引入接口以及一个真空计，该系统还包括一个自动控制模块，所述真空计与自动控制模块保持电性连接，所述真空腔的外部还连通了一个抽真空装置，所述真空腔与抽真空装置的连接管道上安装有一个电磁比例阀，所述电磁比例阀也与自动控制模块保持电性连接。本发明将电磁比例阀应用到真空系统控制中，提出一种包括真空腔体、真空计、真空泵、电磁比例阀、自动控制模块等在内，可以实时、快速、无级调整气压值的真空系统，且该系统具有自适应稳定性，可将气压值稳定在设置值的一定范围内。

技术领域

本发明涉及真空系统领域，特别涉及一种气压可控真空系统。

背景技术

在真空系统中，真空泵到真空腔体的通径大小会直接影响真空泵对真空腔体的有效抽速，一般情况下，通径越大，有效抽速越大，通径越小，有效抽速越小。而一个真空系统中，真空泵对真空腔体的有效抽速又直接影响真空腔体的气压值，抽速越大，真空腔体气压值越低，抽速越小，真空腔体气压值越高。所以改变真空泵到真空腔体的通径可以有效改变真空腔体内的气压值。真空系统被广泛用于仪器仪表、工业制造等多个领域，在不同的使用场景下需要真空系统达到不同的真空度要求。通过改变真空系统真空泵的抽速、改变进气孔径等，可以大致改变真空系统的真空量级，但很难做到实时在线调整，也很难做到精细化调整。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种气压可控真空系统，可以有效解决背景技术中提到的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种气压可控真空系统，包括真空腔，所述真空腔上装有一个气体引入接口以及一个真空计，该系统还包括一个自动控制模块，所述真空计与自动控制模块保持电性连接，所述真空腔的外部还连通了一个抽真空装置，所述真空腔与抽真空装置的连接管道上安装有一个电磁比例阀，所述电磁比例阀也与自动控制模块保持电性连接。

优选的，所述真空腔可以为封闭的独立真空腔体，也可为与其它真空腔体连接的差分真空腔体。

优选的，所述电磁比例阀为电压驱动类型或电流驱动类型的比例阀中的任一种。

优选的，所述抽真空装置指具有一定抽气速率的单个真空泵或者多个真空泵组合，具体可以为分子泵、隔膜泵、涡旋泵等单个泵或多个泵通过串联或并联方式组成的泵组。

优选的，所述真空计指提供真空腔内气压值的测量器具或传感器，可以为皮拉尼规、冷阴极规、热阴极规、薄膜规、气压变送器中的任一种。

优选的，所述自动控制模块包括数值读取单元、微控制单元、驱动单元、电源管理单元以及通讯单元，其中数值读取单元用于读取真空计反馈的真空气压值，微控制单元用于接收设置的目标真空值，并根据读取的真空气压值，生成控制信号，驱动单元接收微控制单元产生的控制信号，生成驱动电压驱动电磁比例阀工作，电源管理单元用于给自动控制模块系统供电，通讯单元用于自动控制模块与外部通讯和数据信息传输。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明将电磁比例阀应用到真空系统控制中，提出一种包括真空腔体、真空计、真空泵、电磁比例阀、自动控制模块等在内，可以实时、快速、无级调整气压值的真空系统，且该系统具有自适应稳定性，可将气压值稳定在设置值的一定范围内。相比于现有技术，本发明提出得系统可以提供一个真空气压稳定、可精准控的真空环境，并且该系统结构简单，具有良好的通用性。

附图说明

图1为本发明的系统整体组成示意图。

图中：1、真空腔；2、电磁比例阀；3、抽真空装置；4、真空计；5、气体引入接口；6、自动控制模块；6-1、数值读取单元；6-2、微控制单元；6-3、驱动单元；6-4、电源管理单元；6-5、通讯单元。

具体实施方式