[发明专利]一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法

权利要求书

1.一种间隙检测系统，用于检测模板(4-3)和基板(5-4)之间的全局间隙数据，其特征在于，包括：

支撑框架(3)；

模板架(4)，包括检焦模块(4-4)，用于实时监测所述模板(4-3)与基板(5-4)之间的间隙数据；

工件台模块(5)，包括承片台(5-3)，用于调整所述基板(5-4)的位置和姿态；

正立面形检测模块(6)，固定于所述支撑框架(3)的上基板上，用于对所述基板(5-4)进行检测，得到第一面形数据；

折转面形检测模块，可在检测位置、避让位置之间进行位置切换，用于对所述模板(4-3)进行检测，得到第二面形数据；

控制系统(8)，用于获取所述模板(4-3)、所述基板(5-4)的位置数据以及所述正立面形检测模块(6)、所述折转面形检测模块的标定数据，在获取所述模板(4-3)与所述基板(5-4)之间的倾斜角度后，用于结合所述位置数据、所述标定数据、所述第一面形数据和所述第二面形数据计算得到所述模板(4-3)与所述基板(5-4)之间的全局间隙数据。

2.根据权利要求1所述的间隙检测系统，其特征在于，所述模板架(4)还包括：

支撑板(4-1)，固定于所述支撑框架(3)的上基板上；

模板吸盘(4-2)，固定于所述支撑板(4-1)上；

所述模板(4-3)吸附于所述模板吸盘(4-2)上，所述检焦模块(4-4)安装于所述支撑板(4-1)上。

3.根据权利要求1所述的间隙检测系统，其特征在于，所述工件台模块(5)还包括：

粗动台(5-1)，安装于所述支撑框架(3)的下基板上；

微动台(5-2)，安装于所述粗动台(5-1)上；

所述粗动台(5-1)和所述微动台(5-2)用于调节所述基板(5-4)的位置和姿态；所述承片台(5-3)安装于所述微动台(5-2)上。

4.根据权利要求1所述的间隙检测系统，其特征在于，所述正立面形检测模块(6)为机械相移式激光干涉仪、动态相移式激光干涉仪、泰曼-格林型动态相移干涉仪和短相干菲索型激光干涉仪中的一种。

5.根据权利要求1所述的间隙检测系统，其特征在于，所述折转面形检测模块包括：

位置调整机构(7-1)，安装于所述支撑框架(3)的侧基板上，用于带动所述折转面形检测模块在检测位置、避让位置之间进行位置切换；

面形检测镜组(7-2)、反射镜组(7-3)和参考镜组(7-4)，用于将光路折转90℃对所述模板(4-3)进行面形检测。

6.根据权利要求5所述的间隙检测系统，其特征在于，所述折转面形检测模块为正立折转面形检测模块(7A)或倒立折转面形检测模块(7B)；

所述折转面形检测模块通过所述位置调整机构(7-1)实现线性移动或者旋转移动，以在检测位置、避让位置之间进行位置切换。

7.根据权利要求1所述的间隙检测系统，其特征在于，所述间隙检测系统还包括：

隔振地基(1)和主动隔振平台(2)，与所述支撑框架(3)构成系统骨架，用于提供稳定的检测基座和安装框架。