[发明专利]一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法

说明书

本公开提供一种间隙检测系统，用于检测模板和基板之间的全局间隙数据，包括：支撑框架；模板架，包括检焦模块，用于实时监测模板与基板之间的间隙数据；工件台模块，包括承片台，用于调整基板的位置和姿态；正立面形检测模块，用于对基板进行检测，得到第一面形数据；折转面形检测模块，可在检测位置、避让位置之间进行位置切换，用于对模板进行检测，得到第二面形数据；控制系统，用于获取模板、基板的位置数据以及正立面形检测模块、折转面形检测模块的标定数据，在获取模板与基板间的倾斜角度后，用于结合位置数据、标定数据、第一面形数据和第二面形数据计算得到模板与基板之间的全局间隙数据。

技术领域

本公开涉及光学检测技术领域，具体涉及一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法。

背景技术

在曝光模板与基板之间为接触、微接触或者小间隙状态，传统离轴三角检测法完全无法兼容小间隙检测光路。传统的白光干涉间隙检测方法仅能够实现焦面的三点检测，且远离曝光图形区，无法完全真实的反映曝光场的焦面信息。传统的原位间隙检测方法虽然能在模板的图形区进行焦面信息的检测，但点阵光纤排布空间受到限制，仅能实现有限位置的焦面信息检测；更为突出的问题是：该方法需要在模板上加工检测窗口，而检测窗口位置无法设计模板图形，这将严重影响模板图形的布局，进而降低图形的集成度。

发明内容

(一)要解决的技术问题

针对上述问题，本公开提供了一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法，用于解决传统方法检测空间受限、检测面积小、影响模板图形的布局等技术问题。

(二)技术方案

本公开一方面提供了一种间隙检测系统，用于检测模板和基板之间的全局间隙数据，包括：支撑框架；模板架，包括检焦模块用于实时监测模板与基板之间的间隙数据；工件台模块，包括承片台，用于调整基板的位置和姿态；正立面形检测模块，固定于支撑框架的上基板上，用于对基板进行检测，得到第一面形数据；折转面形检测模块，可在检测位置、避让位置之间进行位置切换，用于对模板进行检测，得到第二面形数据；控制系统，用于获取模板、基板的位置数据以及正立面形检测模块、折转面形检测模块的标定数据，在获取模板与基板之间的倾斜角度后，用于结合位置数据、标定数据、第一面形数据和第二面形数据计算得到模板与基板之间的全局间隙数据。

进一步地，模板架还包括：支撑板，固定于支撑框架的上基板上；模板吸盘，固定于支撑板上；模板吸附于模板吸盘上，检焦模块安装于支撑板上。

进一步地，工件台模块还包括：粗动台，安装于支撑框架的下基板上；微动台，安装于粗动台上；粗动台和微动台用于调节基板的位置和姿态；承片台安装于微动台上。

进一步地，正立面形检测模块为机械相移式激光干涉仪、动态相移式激光干涉仪、泰曼-格林型动态相移干涉仪和短相干菲索型激光干涉仪中的一种。

进一步地，折转面形检测模块包括：位置调整机构，安装于支撑框架的侧基板上，用于带动折转面形检测模块在检测位置、避让位置之间进行位置切换；面形检测镜组、反射镜组和参考镜组，用于将光路折转90°对模板进行面形检测。

进一步地，折转面形检测模块为正立折转面形检测模块或倒立折转面形检测模块；折转面形检测模块通过位置调整机构实现线性移动或者旋转移动，以在检测位置、避让位置之间进行位置切换。

进一步地，间隙检测系统还包括：隔振地基和主动隔振平台，与支撑框架构成系统骨架，用于提供稳定的检测基座和安装框架。