[发明专利]一种处理液回收槽泡沫消除设备在审

专利信息
申请号: 202211676867.X 申请日: 2022-12-26
公开(公告)号: CN115888193A 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 徐璟;王盛杰;张驰 申请(专利权)人: 宏和电子材料科技股份有限公司
主分类号: B01D19/00 分类号: B01D19/00;B01D19/02
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 林志豪
地址: 200120 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 处理 回收 泡沫 消除 设备
【权利要求书】:

1.一种处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,包括:

回收槽;

两挡水板,两所述挡水板均设于所述回收槽内,两所述挡水板的一端分别与所述回收槽的内壁的两端连接,两所述挡水板的另一端相对设置,两所述挡水板的另一端之间形成一消泡间隙,两所述挡水板分隔所述回收槽形成上部区域和下部区域,所述上部区域和所述下部区域通过所述消泡间隙连通;

排风风机,所述排风风机与所述下部区域连接,所述排风风机抽取所述下部区域内的空气形成负压。

2.根据权利要求1中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,两所述挡水板的一端均高于其另一端,所述挡水板和水平面所夹的锐角为第一夹角。

3.根据权利要求2中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述第一夹角的范围为40°~50°。

4.根据权利要求1中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述下部区域的尺寸自上至下逐渐缩小,所述下部区域和处理液回收口连接。

5.根据权利要求1中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述消泡间隙的尺寸为3mm~5mm。

6.根据权利要求1中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,还包括:排气管,所述排风风机设于所述回收槽的外侧,所述排风风机通过所述排气管和所述下部区域连通。

7.根据权利要求1中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述排风风机的吸气压力为800pa~1500pa。

8.根据权利要求6中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述排风管靠近所述消泡间隙的一端和所述消泡间隙之间具有第一距离。

9.根据权利要求6中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述消泡间隙的高度低于所述排风管的高度,所述排风管正对于一所述挡水板的中部。

10.根据权利要求6中所述的处理液回收槽泡沫消除设备,其特征在于,所述排气管上设有可拆卸的气泡格挡膜。

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