[发明专利]用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置

权利要求书

1.一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，用于装卸不同安装角度的过滤器的滤筒或者滤芯，其特征在于，包括：

机身；

抓取组件，包括夹爪和角度调节机构，所述夹爪用于夹取所述滤筒或者滤芯，所述角度调节机构用于调节所述夹爪的夹取角度，以使其能够夹取不同安装角度的所述滤筒或者滤芯；

移动组件，设于所述机身上并连接所述抓取组件，所述移动组件用于沿不同方向移动所述抓取组件，以使其能够装卸不同安装方向的所述滤筒或者滤芯。

2.根据权利要求1所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述移动组件具体能够沿第一方向移动所述抓取组件以及沿第二方向移动所述抓取组件，所述第一方向和所述第二方向呈夹角设置。

3.根据权利要求2所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向中的一个为竖直方向，所述第一方向和所述第二方向中的另一个为水平方向。

4.根据权利要求2所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述移动组件包括第一移动组件和第二移动组件；

所述第一移动组件连接所述抓取组件，用于沿所述第一方向移动所述抓取组件；

所述第二移动组件设于所述机身上并连接所述第一移动组件，用于沿所述第二方向移动所述第一移动组件及所述抓取组件。

5.根据权利要求4所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述第一移动组件包括伸缩臂；

所述伸缩臂具有第一端和第二端，所述第一端连接所述第二移动组件，所述第二端连接所述抓取组件；

当所述伸缩臂伸缩时，所述抓取组件沿所述第一方向移动。

6.根据权利要求4所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述第二移动组件包括轨道；

所述轨道设于所述机身上，所述第一移动组件设于所述轨道上并能够沿所述轨道移动；

当所述第一移动组件沿所述轨道移动时，所述抓取组件沿所述第二方向移动。

7.根据权利要求1所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述夹爪包括多个夹指，多个所述夹指通过不同合拢程度以实现对所述滤筒或者所述滤芯的抓取。

8.根据权利要求1所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述角度调节机构包括铰接连接件和驱动单元；

所述移动组件与所述夹爪通过所述铰接连接件铰接；

所述驱动单元连接于所述夹爪和所述移动组件之间，用于驱使所述夹爪绕所述铰接连接件旋转，以调节所述夹爪的夹取角度。

9.根据权利要求1所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述维护装置还包括清洁组件，所述清洁组件包括吸尘器和折叠支架；

所述吸尘器具有吸尘管道；

所述折叠支架用于支撑所述吸尘管道，并具有将所述吸尘管道收回的折叠状态和将所述吸尘管道伸出的展开状态；

当所述折叠支架处于展开状态时，所述吸尘管道伸入所述滤筒内，以进行吸尘操作。

10.根据权利要求9所述的用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其特征在于，所述清洁组件还包括震动机构；

所述震动机构设于所述折叠支架上，用于震动使所述滤筒内的杂质脱落、分散。