[发明专利]用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置

说明书

本申请公开了一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，用于装卸不同安装角度的过滤器的滤筒或者滤芯，包括：机身；抓取组件，包括夹爪和角度调节机构，所述夹爪用于夹取所述滤筒或者滤芯，所述角度调节机构用于调节所述夹爪的夹取角度，以使其能够夹取不同安装角度的所述滤筒或者滤芯；移动组件，设于所述机身上并连接所述抓取组件，所述移动组件用于沿不同方向移动所述抓取组件，以使其能够装卸不同安装方向的所述滤筒或者滤芯。本申请的维护装置，其夹爪角度可调并且能够沿不同方向移动，从而可以解决人工装卸滤筒时因容易磕碰到密封圈和接触面而导致密封性降低以及普通装卸设备适用性不强的问题。

技术领域

本申请属于气相外延生长设备技术领域，具体涉及一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置。

背景技术

气相外延生长（MOCVD）机台使用的过滤器种类较多，不同过滤器的滤筒的安装方式不同，例如，滤筒可以水平安装或者竖直安装。这类过滤器的滤筒普遍重量较大，在维护过程中，人工装卸过滤器的滤筒或者滤芯时容易磕碰到密封圈和接触面，从而导致密封性降低。而普通装卸设备又难以适应滤筒多样性的安装方式，针对不同类型的过滤器需要使用不同的装卸设备。

为此，本申请提出一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，其可以解决人工装卸过滤器的滤筒时容易磕碰到密封圈和接触面的问题，并且，其还可以解决普通装卸设备适用性不强的问题。

发明内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置。

本申请实施例提供一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，用于装卸不同安装角度的过滤器的滤筒或者滤芯，包括：

机身；

抓取组件，包括夹爪和角度调节机构，所述夹爪用于夹取所述滤筒或者滤芯，所述角度调节机构用于调节所述夹爪的夹取角度，以使其能够夹取不同安装角度的所述滤筒或者滤芯；

移动组件，设于所述机身上并连接所述抓取组件，所述移动组件用于沿不同方向移动所述抓取组件，以使其能够装卸不同安装方向的所述滤筒或者滤芯。

可选地，所述移动组件具体能够沿第一方向移动所述抓取组件以及沿第二方向移动所述抓取组件，所述第一方向和所述第二方向呈夹角设置。

可选地，所述第一方向和所述第二方向中的一个为竖直方向，所述第一方向和所述第二方向中的另一个为水平方向。

可选地，所述移动组件包括第一移动组件和第二移动组件；

所述第一移动组件连接所述抓取组件，用于沿所述第一方向移动所述抓取组件；

所述第二移动组件设于所述机身上并连接所述第一移动组件，用于沿所述第二方向移动所述第一移动组件及所述抓取组件。

可选地，所述第一移动组件包括伸缩臂；

所述伸缩臂具有第一端和第二端，所述第一端连接所述第二移动组件，所述第二端连接所述抓取组件，当所述伸缩臂伸缩时，所述抓取组件沿所述第一方向移动。

可选地，所述第二移动组件包括轨道；

所述轨道设于所述机身上，所述第一移动组件设于所述轨道上并能够沿所述轨道移动，当所述第一移动组件沿所述轨道移动时，所述抓取组件沿所述第二方向移动。

可选地，所述夹爪包括多个夹指，多个所述夹指通过不同合拢程度以实现对所述滤筒或者所述滤芯的抓取。

可选地，所述角度调节机构包括铰接连接件和驱动单元；

所述移动组件与所述夹爪通过所述铰接连接件铰接；

所述驱动单元连接于所述夹爪和所述移动组件之间，用于驱使所述夹爪绕所述铰接连接件旋转，以调节所述夹爪的夹取角度。

可选地，所述维护装置还包括清洁组件，所述清洁组件包括吸尘器和折叠支架；