[发明专利]多层铜质材料的双面研磨方法在审
| 申请号： | 202211693215.7 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116141188A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 刘伟恒 | 申请（专利权）人： | 佛山华智新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/08;B24B37/14;B24B37/005 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 苏婕 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 材料 双面 研磨 方法 | ||
1.一种多层铜质材料的双面研磨方法，其特征在于，包括以下步骤：
利用上研磨盘以及下研磨盘同时对所述多层铜质材料依次进行研磨处理，所述研磨处理包括第一次双面研磨，第二次双面研磨、第三次双面研磨以及第四次双面研磨，
其中，所述上研磨盘的原料以及所述下研磨盘的组分以重量百分数计包括：20％～30％的树脂结合剂、65％～75％的碳化硅以及2％～6％的稳定剂，
所述第一次双面研磨的参数包括：第一压力为600N～1200N，磨盘第一转速为1Hz～15Hz，第一游星轮转速为1Hz～10Hz，
所述第二次双面研磨的参数包括：第二压力为800N～1700N，磨盘第二转速为5Hz～35Hz，第二游星轮转速为5Hz～25Hz，
所述第三次双面研磨的参数包括：第三压力为1300N～2600N，磨盘第三转速为15Hz～35Hz，第三游星轮转速为5Hz～25Hz，
所述第四次双面研磨的参数包括：第四压力为600N～1200N，磨盘第四转速为5Hz～25Hz。
2.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述树脂结合剂为缩醛树脂。
3.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述稳定剂为聚乙烯醇。
4.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述第一次双面研磨的参数包括：第一研磨时间为1s～15s。
5.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述第二次双面研磨的参数包括：第二研磨时间为5s～15s。
6.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述第三次双面研磨的参数包括：第三研磨时间为50s～400s。
7.如权利要求1所述的双面研磨方法，其特征在于，所述第四次双面研磨的参数包括：第四研磨时间为1s～15s。
8.如权利要求1～7任一项所述的双面研磨方法，其特征在于，在进行所述研磨处理之后还包括清洗以及钝化的步骤。
9.如权利要求8所述的双面研磨方法，其特征在于，所述清洗的条件包括在pH值为0.8～1.3的溶液中清洗5s～30s。
10.如权利要求8所述的双面研磨方法，其特征在于，所述钝化的条件包括在钝化液中钝化处理3min～8min。
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