[发明专利]气体供给组件

权利要求书

1.一种气体供给组件，包括：

分流管，形成有供给工艺气体的工艺气体流入口及排出所述工艺气体的工艺气体排出口、以及连接所述工艺气体流入口与所述工艺气体排出口的内部流路；

连接板，形成有与所述工艺气体排出口连接的多个连接孔并通过所述多个连接孔朝向下部供给所述工艺气体，且所述连接板连接到腔室顶盖；

堵板，连接到所述连接板的下部且在所述堵板与所述连接板之间提供分散有所述工艺气体的缓冲空间，且所述堵板形成有供给所述工艺气体的多个贯通孔；以及

喷淋头，连接到所述堵板的下部且形成有朝向基板供给所述工艺气体的多个供给孔。

2.根据权利要求1所述的气体供给组件，其中所述多个连接孔从所述分流管的所述工艺气体流入口的中心线向半径方向隔开来进行布置。

3.根据权利要求1所述的气体供给组件，其中

所述分流管的所述工艺气体排出口形成有多个以与所述连接板的所述多个连接孔对应，

在所述分流管的内部，所述内部流路从内侧分支延伸以连接所述工艺气体流入口与多个所述工艺气体排出口。

4.根据权利要求1所述的气体供给组件，其中在所述连接板形成有连接所述分流管的连接部，且所述多个连接孔贯通所述连接部彼此间隔开地形成。