[发明专利]一种镀膜用测温系统及安装方法

权利要求书

1.一种镀膜用测温系统，其特征在于，包括：

腔体，设有真空腔室；

基片台，与所述腔体连接，且位于所述真空腔室内，所述基片台用于放置待镀膜产品；

热电偶，所述热电偶伸入所述真空腔室内的测量端可弯折，所述基片台设有测量孔，且所述热电偶的测量端与所述基片台的测量孔可拆卸连接，所述热电偶用于测量所述基片台的温度；

真空密封组件，连接所述腔体和所述热电偶，以使所述真空腔室处于真空密封。

2.根据权利要求1所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述真空密封组件包括：

底部法兰，与所述腔体密封连接；

夹紧块，与所述底部法兰背离所述腔体的一侧连接；

保护环，连接所述底部法兰和所述腔体；

所述底部法兰设有第一密封孔，所述保护环设有第二密封孔，所述夹紧块设有密封切口，所述热电偶依次通过所述密封切口、所述第一密封孔及所述第二密封孔与所述基片台连接。

3.根据权利要求2所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述热电偶包括：

测量部，位于所述真空腔室内，且所述测量端设于所述测量部的尾端；

连接部，分别与所述夹紧块、所述底部法兰及所述保护环连接；

护套部，位于所述真空腔室外，所述连接部的两端分别连接所述测量部和所述连接部。

4.根据权利要求2所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述密封切口为刀口，所述夹紧块上设有夹紧孔；

所述真空密封组件还包括螺钉，所述螺钉通过所述夹紧孔与所述夹紧块连接，以使所述热电偶紧固于所述夹紧块。

5.根据权利要求2所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述夹紧块上设有两个第一安装孔，所述底部法兰上对应设有两个第一螺纹孔；所述真空密封组件还包括第一螺栓，所述第一螺栓依次通过所述第一安装孔、第一螺纹孔连接所述夹紧块和所述底部法兰。

6.根据权利要求2所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述底部法兰上设有多个第二安装孔，所述腔体上设有第二螺纹孔；所述真空密封组件还包括第二螺栓，所述第二螺栓依次通过所述第二安装孔、第二螺纹孔密封连接所述底部法兰和所述腔体。

7.根据权利要求1所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述基片台的测量孔设有多个，且多个所述测量孔呈阵列分布。

8.根据权利要求7所述的镀膜用测温系统，其特征在于，所述基片台包括：

台体，设有凹槽，多个所述测量孔设于所述凹槽底壁；

水冷凝管，连接于所述台体；

导热金属层，连接于所述凹槽内壁，且与所述水冷凝管连接；

金刚石膜，连接于所述导热金属层；

无机材料层，覆盖连接所述导热金属层，且连接所述凹槽侧壁和所述金刚石膜。

9.一种根据权利要求1至8任一项所述的镀膜用测温系统的安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

将热电偶与真空密封组件连接后，将真空密封组件安装于腔体上，以使热电偶的测量端伸入真空腔室内；

当基片台上测量孔的位置与预设基片台上测量孔的位置不同时，控制热电偶上测量端进行弯曲，使得弯曲后热电偶上测量端的位置与基片台上测量孔的位置相同；其中，所述预设基片台上测量孔的位置为热电偶上测量端的初始位置；

将基片台连接于腔体，且位于腔体的真空腔室中，以使弯曲后热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接。

10.根据权利要求9所述的镀膜用测温系统的安装方法，其特征在于，所述安装方法还包括：

当基片台上测量孔的位置与预设基片台上测量孔的位置相同时，将基片台连接于腔体，且位于腔体的真空腔室中，以使弯曲后热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接。