[发明专利]一种晶圆测试台在审
申请号: | 202211695482.8 | 申请日: | 2022-12-28 |
公开(公告)号: | CN115951199A | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 白建民;于升辉;朱跃强;高慧欣;姚锡刚;白俊;朱海华 | 申请(专利权)人: | 宁波希磁电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 杨洋 |
地址: | 315221 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 | ||
1.一种晶圆测试台,其特征在于,包括:
测试盒(1),其内设有测试腔;
磁场发生装置,设于所述测试腔内;
聚磁装置,设于所述测试腔内,且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧;
测试装置,与所述测试盒(1)连接,所述测试装置中的探针(5)设于所述测试腔内,以对所述测试腔内的待测晶圆测试。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试台,其特征在于,所述磁场发生装置包括若干磁场发生件,若干所述磁场发生件围合形成一测试空间,所述待测晶圆设于所述测试空间内。
3.根据权利要求2所述的晶圆测试台,其特征在于,所述磁场发生件包括线圈支架(2)以及缠绕在所述线圈支架(2)上的线圈。
4.根据权利要求3所述的晶圆测试台,其特征在于,所述聚磁装置包括第一磁体件(3)和第二磁体件(4),所述第一磁体件(3)和第二磁体件(4)围合形成一聚磁空间,所述聚磁空间设于所述测试空间周侧。
5.根据权利要求4所述的晶圆测试台,其特征在于,所述第一磁体件(3)和第二磁体件(4)磁极相反。
6.根据权利要求5所述的晶圆测试台,其特征在于,所述线圈支架(2)上设有安装槽,所述第一磁体件(3)与所述第二磁体件(4)设于所述安装槽内,以固定所述第一磁体件(3)与所述第二磁体件(4)。
7.根据权利要求5所述的晶圆测试台,其特征在于,还包括磁场支架(6),与所述测试盒(1)连接,所述磁场支架(6)上设有通槽,所述磁场发生装置与所述聚磁装置设置于所述通槽周侧。
8.根据权利要求5所述的晶圆测试台,其特征在于,还包括若干固定支架(7),所述固定支架(7)连接在所述测试盒(1)与所述磁场发生装置之间。
9.根据权利要求6-8中任一项所述的晶圆测试台,其特征在于,所述测试装置还包括调节件(8),所述调节件(8)与所述探针(5)连接,以调整所述探针(5)相对所述待测晶圆位置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波希磁电子科技有限公司,未经宁波希磁电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211695482.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。