[发明专利]一种硅腐蚀剂在审
| 申请号： | 202211696201.0 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115895663A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 郁亮;周志坚;李兴元;王建远;徐强 | 申请（专利权）人： | 昆山金城试剂有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
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| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀剂 | ||
1.一种硅腐蚀剂，其特征在于，包括第一粗腐蚀液、第二粗腐蚀液和精腐蚀液；
所述第一粗腐蚀液由38％-42％的氢氟酸、65％-70％的硝酸、99.9％的冰乙酸和30％-32％的六氟硅酸组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸：六氟硅酸等于2：3：1：1；
所述第二粗腐蚀液由38％-42％的氢氟酸、65％-70％的硝酸、99.9％的冰乙酸和90％-98％的氟化铵组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸：氟化铵等于2：4：1：0.5；
所述精腐蚀液由38％-42％的氢氟酸、65％-70％的硝酸和99.9％的冰乙酸组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸等于2：2：1。
2.根据权利要求1所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，所述第一粗腐蚀液与纯水配置的体积比为1-1.5:100。
3.根据权利要求1所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，所述第二粗腐蚀液与纯水配置的体积比为1-1.5:100。
4.根据权利要求1所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，所述精腐蚀液与纯水配置的体积比为0.5-0.8:100。
5.根据权利要求1所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，所述第一粗腐蚀液的腐蚀温度为10—25℃；所述第二粗腐蚀液的腐蚀温度为10—25℃；所述精腐蚀液中的腐蚀温度为-10℃—-5℃。
6.根据权利要求5所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，在第一粗腐蚀液中腐蚀深度为设定深度的60％—70％，在第二粗腐蚀液中腐蚀深度为设定深度的70％—80％，在精腐蚀液中腐蚀至设定深度。
7.根据权利要求6所述的一种硅腐蚀剂，其特征在于，在第一粗腐蚀液中腐蚀深度为设定深度的65％，在第二粗腐蚀液中腐蚀深度为设定深度的75％，在精腐蚀液中腐蚀至设定深度。
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