[发明专利]动态载物台及面形调整方法

权利要求书

1.一种动态载物台，其特征在于，包括：

支撑板，所述支撑板上设有导线通道和真空通道；

面形控制模块，安装在所述支撑板表面，包括压电陶瓷阵列及气密墙，所述气密墙围绕所述压电陶瓷阵列；

其中，所述压电陶瓷阵列由阵列排布的压电陶瓷单元组成，每一个所述压电陶瓷单元通过穿过所述导线通道的电极线与外部电路独立连接，所述外部电路向各个压电陶瓷单元两端独立施加电势差，使所述压电陶瓷单元独立产生纵向形变；

所述压电陶瓷阵列用于支撑待调整工件，所述真空通道用于对所述气密墙、所述支撑板和所述待调整工件围成的空间抽真空，将所述待调整工件吸附在所述压电陶瓷阵列上。

2.根据权利要求1所述的动态载物台，其特征在于，所述支撑板包括转接板和底座，所述转接板用于布设所述导线通道和所述真空通道，所述底座用于支撑所述转接板，并为所述真空通道和所述电极线预留与外部连接的空间，所述转接板与所述气密墙连接。

3.根据权利要求2所述的动态载物台，其特征在于，所述导线通道将每个压电陶瓷单元对应的电极线集中引导至所述底座预留的空间。

4.根据权利要求3所述的动态载物台，其特征在于，所述转接板由多层子板叠加而成，每层子板内开设有导线通孔，每层子板表面开设有导线凹槽，所述导线通孔与所述导线凹槽组合构成所述导线通道；

其中，所述电极线穿过所述导线通孔后沿所述导线凹槽布设，延伸至所述底座预留的空间。

5.根据权利要求4所述的动态载物台，其特征在于，所述转接板的材料为陶瓷，所述电极线印刷在所述转接板内，形成一体结构。

6.根据权利要求1所述的动态载物台，其特征在于，每个所述压电陶瓷单元支撑所述待调整工件的一端还可以设置凸点结构，所述凸点结构用于支撑所述待调整工件。

7.根据权利要求6所述的动态载物台，其特征在于，所述凸点结构与对应的所述压电陶瓷单元一体成型或所述凸点结构粘接在对应的所述压电陶瓷单元表面。

8.根据权利要求1所述的动态载物台，其特征在于，所述压电陶瓷阵列为叠堆式压电陶瓷阵列，叠堆式为分立式或者整体式中的任一种。

9.根据权利要求1所述的动态载物台，其特征在于，所述压电陶瓷单元阵列排布的方式为三角阵列排布或矩形阵列排布或正多边形阵列排布或等间隙同心圆排布，所述压电陶瓷单元沿平行于所述支撑板表面方向的截面为圆形、矩形或正多边形。

10.根据权利要求1所述的动态载物台，其特征在于，不同所述压电陶瓷单元两端施加的电势差大小能够相同或不同，不同大小的电势差对应的压电陶瓷单元的形变量不同。

11.一种面形调整方法，所述面形调整方法基于权利要求1-10任一项所述的动态载物台实现，其特征在于，包括：

将待调整工件与压电陶瓷单元表面贴合，通过真空通道对气密墙、支撑板和待调整工件围成的空间抽真空，将所述待调整工件吸附在所述压电陶瓷单元上；

根据所述待调整工件需要调整的面形获得各个压电陶瓷单元的形变量；

根据各个压电陶瓷单元的形变量计算对应的电势差大小；

控制外部电路向各个压电陶瓷单元两端施加对应大小的电势差，以将所述待调整工件调整至所需面形。