[发明专利]一种高精度定位调平装置

权利要求书

1.一种高精度定位调平装置，其特征在于：包括沿着曝光光源方向设置的，

柔性吸盘模块、预调平模块、支撑板，

所述柔性吸盘模块可对目标掩模进行吸附，所述柔性吸盘模块上还设置有若干个正交设置的矫正组件，可产生正交的矫正力，带动目标掩模在矫正组件的轴线方向进行正交方向的偏移；

所述预调平模块一端与柔性吸盘模块耦合，所述预调平模块上设置有若干个驱动感应装置，可带动预调平模块及柔性吸盘模块按照预期轨迹运动，控制目标掩模的空间位置；

所述预调平模块的另一端与支撑板相连。

2.根据权利要求1所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述预调平模块包括挠动板及固定支架，所述驱动感应装置包括第一驱动器及第一传感器，

所述第一传感器设置于第一驱动器上，用于接收数据对第一驱动器进行反馈；

所述第一驱动器一端和挠动板相连，从而带动挠动板运动，另一端与固定支架相连；

所述挠动板与柔性吸盘模块耦合，可带动柔性吸盘模块运动。

3.根据权利要求2所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述驱动感应装置以高精度定位调平装置的结构中心为对称轴，在固定支架上等距周向布置。

4.根据权利要求2所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述第一驱动器包括音圈或压电电机的一种或两种，和/或，所述第一传感器的端面与挠动板贴合，和/或，所述第一传感器包括力矩传感器或光学检测器的一种或两种。

5.根据权利要求2所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述矫正组件为柔性铰链。

6.根据权利要求5所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述柔性铰链为4个正交设置的柔性铰链。

7.根据权利要求6所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述柔性铰链上设置有顶部接口，顶部接口与挠动板适配，可与扰动板进行配合。

8.根据权利要求1所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述柔性吸盘模块中还设置有柔性驱动装置，所述柔性驱动装置和矫正组件相连，可主动向矫正组件提供驱动力。

9.根据权利要求8所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述柔性驱动装置包括第二驱动器和第二传感器。

10.根据权利要求9所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述第二传感器包括气压传感器、力传感器、激光传感器中的一种或多种。

11.根据权利要求1所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述柔性吸盘模块通过真空吸附方式对目标掩模进行吸附。

12.根据权利要求1所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述高精度定位调平装置还包括定位机构模块，

所述定位机构模块可在柔性吸盘模块的表面对掩模进行固定，

所述定位机构模块上包括固定组件以及设定在固定组件上的若干个滑动组件，所述滑动组件可以按照设定的移动方式与掩模产生接触。

13.根据权利要求12所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述滑动组件上设置有驱动电机。

14.根据权利要求12所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述固定组件包括2个L型固定块，所述L型固定块可拼接为方形固定组件。

15.跟据权利要求14所述的高精度定位调平装置，其特征在于：所述滑动组件包括4个L型滑块，所述4个L型滑块设置在方形固定组件的四角；

或，

所述滑动组件包括2个一字型滑块，所述2个一字型滑块为竖直正交设置。