[发明专利]一种抛光片去边设备在审

专利信息
申请号: 202211736729.6 申请日: 2022-12-31
公开(公告)号: CN116013836A 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 赵世印;叶民强;吴海军;王建君;王民安 申请(专利权)人: 黄山芯微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人: 杨大庆
地址: 245000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 片去边 设备
【权利要求书】:

1.一种抛光片去边设备,其特征在于:包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台;

还包括可沿设备台面滑动的机械手,机械手的端部连接吸盘,吸盘用于抓取抛光片,抛光片表面附膜,并将需要去边的部分露出;

清洗槽设置有三个,第一个清洗槽中盛放氢氟酸,后面两个清洗槽中盛放纯水,吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉,然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。

2.根据权利要求1所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部,还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。

3.根据权利要求2所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘为圆柱状结构,且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。

4.根据权利要求3所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘的外周面滑动套接有液刷,液刷受第二驱动部驱动;

第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮,第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘,第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷;

第一齿轮固定连接有第一驱动轴,第二齿轮固定连接有第二驱动轴,第一驱动轴和第二驱动轴相互转动连接,并且在第一驱动轴和第二驱动轴之间设置有过渡轴;

第一驱动轴、过渡轴以及第二驱动轴的外周面均设置有摆臂,第一驱动轴在旋转中通过摆臂驱动过渡轴旋转,过渡轴在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴旋转,第一驱动轴受电机驱动;

初始状态下,第一驱动轴旋转,驱动第一齿轮旋转,驱动吸盘向下滑动,待一段距离后,第一驱动轴通过摆臂推动过渡轴旋转,过渡轴旋转一段距离后推动第二驱动轴旋转,第二驱动轴带动第二齿轮驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。

5.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:下料台的端面上设置有吸水海绵,当吸盘将抛光片放下后,转移到吸水海绵的上方,然后下压,吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。

6.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:清洗槽的上部设置有溢流槽,清洗槽外接有输入管道,通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。

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