[发明专利]一种抛光片去边设备在审
申请号: | 202211736729.6 | 申请日: | 2022-12-31 |
公开(公告)号: | CN116013836A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 赵世印;叶民强;吴海军;王建君;王民安 | 申请(专利权)人: | 黄山芯微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 杨大庆 |
地址: | 245000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 片去边 设备 | ||
1.一种抛光片去边设备,其特征在于:包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台;
还包括可沿设备台面滑动的机械手,机械手的端部连接吸盘,吸盘用于抓取抛光片,抛光片表面附膜,并将需要去边的部分露出;
清洗槽设置有三个,第一个清洗槽中盛放氢氟酸,后面两个清洗槽中盛放纯水,吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉,然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。
2.根据权利要求1所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部,还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。
3.根据权利要求2所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘为圆柱状结构,且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。
4.根据权利要求3所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:吸盘的外周面滑动套接有液刷,液刷受第二驱动部驱动;
第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮,第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘,第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷;
第一齿轮固定连接有第一驱动轴,第二齿轮固定连接有第二驱动轴,第一驱动轴和第二驱动轴相互转动连接,并且在第一驱动轴和第二驱动轴之间设置有过渡轴;
第一驱动轴、过渡轴以及第二驱动轴的外周面均设置有摆臂,第一驱动轴在旋转中通过摆臂驱动过渡轴旋转,过渡轴在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴旋转,第一驱动轴受电机驱动;
初始状态下,第一驱动轴旋转,驱动第一齿轮旋转,驱动吸盘向下滑动,待一段距离后,第一驱动轴通过摆臂推动过渡轴旋转,过渡轴旋转一段距离后推动第二驱动轴旋转,第二驱动轴带动第二齿轮驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。
5.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:下料台的端面上设置有吸水海绵,当吸盘将抛光片放下后,转移到吸水海绵的上方,然后下压,吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。
6.根据权利要求4所述的一种抛光片去边设备,其特征在于:清洗槽的上部设置有溢流槽,清洗槽外接有输入管道,通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造