[发明专利]一种抛光片去边设备

说明书

本发明公开了一种抛光片去边设备，包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台；还包括可沿设备台面滑动的机械手，机械手的端部连接吸盘，吸盘用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；清洗槽设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。本发明采用机械手加吸盘的形式对抛光片进行转移，形成流程化以及自动化作业，能够保证交给那个产品的质量稳定性以及去边精度。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种抛光片去边设备。

背景技术

申请人在研发初期，对于重掺砷抛光片采用手动设备背封去边，具体为，通过人工提取抛光片放入清洗槽中进行腐蚀去边；这种工艺中，去边宽度较差，精度很难把控，同时，由于手动操作对于工人的要求较高，容易导致氧化膜表面划伤，影响产品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抛光片去边设备，以解决上述背景技术中关于分体式导轨所提出的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种抛光片去边设备，包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台；

还包括可沿设备台面滑动的机械手，机械手的端部连接吸盘，吸盘用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；

清洗槽设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。

优选的，机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部，还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。

优选的，吸盘为圆柱状结构，且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。

优选的，吸盘的外周面滑动套接有液刷，液刷受第二驱动部驱动；

第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘，第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷；

第一齿轮固定连接有第一驱动轴，第二齿轮固定连接有第二驱动轴，第一驱动轴和第二驱动轴相互转动连接，并且在第一驱动轴和第二驱动轴之间设置有过渡轴；

第一驱动轴、过渡轴以及第二驱动轴的外周面均设置有摆臂，第一驱动轴在旋转中通过摆臂驱动过渡轴旋转，过渡轴在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴旋转，第一驱动轴受电机驱动；

初始状态下，第一驱动轴旋转，驱动第一齿轮旋转，驱动吸盘向下滑动，待一段距离后，第一驱动轴通过摆臂推动过渡轴旋转，过渡轴旋转一段距离后推动第二驱动轴旋转，第二驱动轴带动第二齿轮驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。

优选的，下料台的端面上设置有吸水海绵，当吸盘将抛光片放下后，转移到吸水海绵的上方，然后下压，吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。

优选的，清洗槽的上部设置有溢流槽，清洗槽外接有输入管道，通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明采用机械手加吸盘的形式对抛光片进行转移，形成流程化以及自动化作业，能够保证交给那个产品的质量稳定性以及去边精度。

附图说明：

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明吸盘结构示意图；

图3为本发明第二驱动部结构示意图；

图4为本发明清洗槽结构示意图。

具体实施方式