[发明专利]一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法

权利要求书

1.一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述在线准直方法应用于X射线吸收谱仪，所述X射线吸收谱仪包括X射线源、弯晶和探测器，所述X射线源发出的X射线经所述弯晶衍射后聚焦至所述探测器处；所述在线准直方法包括：

将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；

通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；

将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直。

2.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑，包括：

在所述X射线的衍射光路上不设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后聚焦的第一光斑；

在所述X射线的衍射光路上设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线衍射光通过所述光阑后聚焦的第二光斑。

3.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，包括比对所述第二光斑和第一光斑的光斑尺寸和/或光强。

4.根据权利要求3所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，包括：

当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强小于所述第一光斑时，在所述衍射光路上设置所述光阑的情况下，通过调节所述弯晶的位置和/或俯仰度来将所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强调节至最大，以使得所述第二光斑调节至与所述第一光斑相匹配。

5.根据权利要求4所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直，还包括：

当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强最大时，将所述光阑从所述衍射光路上取下，比对所述第二光斑与取下所述光阑后所述探测器记录的第一光斑是否重合；

若所述第二光斑与第一光斑相重合，则完成所述弯晶在所述准直角度下的准直。

6.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述在线准直方法还包括：

当在一准直角度完成所述弯晶对X射线的准直聚焦后，将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至另一准直角度；

通过比对所述X射线衍射光在另一准直角度下的第一光斑和第二光斑是否重合，来验证所述弯晶在其他准直角度下是否准直。

7.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述光阑的通光孔径大于等于所述X射线衍射光在所述光阑设置位置处形成的光斑尺寸。

8.根据权利要求7所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述光阑为狭缝。

9.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述准直角度为所述X射线相对所述弯晶的布拉格角度。

10.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，沿所述弯晶的罗兰圆调节所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角。