[发明专利]一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法

说明书

本发明提供一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，属于材料测试技术领域，本发明X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，包括：将X射线源和探测器相对弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；通过探测器记录X射线源发射的X射线经过弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；将第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在准直角度下的准直。本发明X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，在线调节过程中可实时观察聚焦光斑的变化，来精准的调节弯晶的姿态，从而发现和纠正弯晶应用于X射线吸收谱仪时的潜在问题，以有效保证X射线吸收谱仪的测试精度。

技术领域

本发明涉及材料测试技术领域，具体涉及一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法。

背景技术

X射线吸收谱是一种广泛使用的材料表征手段，用于对材料中元素检测以及原子电子态、配位原子种类及配位原子距离的表征，在能源与环境、新材料、催化等领域具有重要的应用。

在X射线吸收光谱仪中，使用弯晶元件来将X射线源产生的复色光X射线单色聚焦到样品上，以完成样品在对应能点X射线下的测试。其中，X射线在入射光学元件时与平面光不同，并非由晶体表面衍射而是经由晶体的晶面衍射的。因此，X射线吸收光谱仪中，采用弯晶元件的晶面与表面设计有一定的斜切角，这虽能使得入射的X射线能够被弯晶衍射聚焦，但是由于弯晶衍射面为曲面难以准直调节，经其衍射的衍射光出射时的角度仍然存在一定的偏差，需要在测试前对弯晶进行准直。

由于弯晶的离线调节方式无法披露弯晶应用于测试系统时的潜在问题，并且难以满足测试系统的使用要求及位置精度。因此，需要设计一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，从而解决上述问题。

发明内容

鉴于以上现有技术的缺点，本发明提供了一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，能够在X射线吸收谱仪上通过在线调节的方式对应用于X射线吸收谱仪的弯晶进行准直，从而解决现有技术中弯晶的离线调节方式无法披露弯晶应用于测试系统时的潜在问题，难以使弯晶调节满足测试系统的精度要求的技术问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，该在线准直方法应用于X射线吸收谱仪，所述X射线吸收谱仪包括X射线源、弯晶和探测器，所述X射线源发出的X射线经所述弯晶衍射后聚焦至所述探测器处；所述在线准直方法包括：

将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；

通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；

将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直。

在本发明一示例中，所述通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑，包括：

在所述X射线的衍射光路上不设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后聚焦的第一光斑；在所述X射线的衍射光路上设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线衍射光通过所述光阑后聚焦的第二光斑。

在本发明一示例中，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，包括比对所述第二光斑和第一光斑的光斑尺寸和/或光强。

在本发明一示例中，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，包括：

当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强小于所述第一光斑时，在所述衍射光路上设置所述光阑的情况下，通过调节所述弯晶的位置和/或俯仰度来将所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强调节至最大，以使得所述第二光斑调节至与所述第一光斑相匹配。