[发明专利]一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法

权利要求书

1.一种束流传输线用偏角辐照系统，包括：

束流传输线；

送料部(5)，位于所述束流传输线的底部；

其特征在于，所述束流传输线包括：

水平部(1)；

转向部(2)，包括一90度偏转磁铁(21)，使得水平部(1)的束流经过90度偏转磁铁(21)垂转向，并垂直于水平面；

垂直部(3)，与转向部(2)连接。

2.根据权利要求1所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述垂直部(3)包括与90度偏转磁铁(21)连通的束流管道(34)，设置在所述束流管道(34)周部的偏转机构(32)，及设置在束流管道(34)端部的束流出口(33)；

所述偏转机构(32)包括设置在所述束流管道(34)周部的偏转槽(322)，以及位于所述偏转槽(322)内且设置在束流管道(34)周部上的偏转磁体(321)；

垂直部(3)还包括固定架(31)，所述偏转槽(322)与所述固定架(31)连接。

3.根据权利要求1所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述送料部(5)包括：

送料单元(51)，用于升降放置有晶圆的托板；

引料单元(52)，位于送料单元(51)的一侧，用于将放置有晶圆的托板引入束流出口(33)下方，使束流完成对晶圆的辐照；

牵引单元(53)，与引料单元(52)连接，用于牵引放置有晶圆的托板。

4.根据权利要求3所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述送料单元(51)包括：

承载主体，包括一框架，所述框架上安装有送料滑轨(516)；

驱动件，安装在所述框架上；

传动件，设计两组，分别设置在所述驱动件的两端；

滑动件，套接于传动件。

5.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述驱动件包括安装在所述框架上的送料电机(511)，设置在所述送料电机(511)输出端的送料轴，套接于所述送料轴的送料齿轮，与所述送料齿轮传动连接的传动齿轮，插接于所述传动齿轮的送料输入轴(512)，以及套接在送料输入轴(512)两端的输入锥齿轮(513)；

所述送料齿轮与传动齿轮之间设有传动链条。

6.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述传动件包括与输入锥齿轮(513)啮合的输出锥齿轮(514)，以及与输出锥齿轮(514)连接的送料输出丝杆(515)。

7.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述滑动件包括套接于送料输出丝杆(515)的送料滑板(517)，以及安装在送料滑板(517)上的若干送料卡槽(518)；

所述送料滑板(517)与送料滑轨(516)适配。

8.根据权利要求3所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述引料单元(52)包括位于框架一侧的引料底板(521)，设置在引料底板(521)上的引料驱动丝杆(524)和引料导杆(522)，套接于所述引料驱动丝杆(524)的引料滑套(525)，设置在所述引料滑套(525)上的引料连接件(526)，以及与所述引料连接件(526)连接且套接于所述引料导杆(522)的引料滑块(523)；

所述引料滑块(523)上连接有磁块，用于吸附托板；

所述引料驱动丝杆(524)的任意一端设有引料电机。

9.根据权利要求3所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述牵引单元(53)包括与引料底板(521)连接的滑架(531)，以及设置在所述滑架(531)上的若干滚轴(533)；

所述滑架(531)上还有与托板适配的滑槽(532)。

10.一种束流传输线用偏角辐照方法，其特征是，包括：

步骤1、送料部(5)将放置有晶圆的托板牵引至束流出口(33)下方，让束流进行辐照晶圆；

步骤2、通过送料电机(511)带动送料轴转动，带动送料齿轮转动，带动传动链条运动，使得传动齿轮发生转动，使得送料输入轴(512)发生转动，送料输入轴(512)发生转动后，将带动输入锥齿轮(513)发生转动，带动输出锥齿轮(514)转动，带动送料输出丝杆(515)发生转动，使得送料滑板(517)沿着送料滑轨(516)升降运动，直至带动托板移动至适当位置；

步骤3、托板移动至适当位置后，由引料电机带动引料驱动丝杆(524)发生转动，使得引料滑套(525)发生运动，进而带动引料连接件(526)发生运动，使得引料滑块(523)在引料导杆(522)发生运动，直至磁块与放置在卡槽内的托板接触；

步骤4、磁块与放置在卡槽内的托板接触后，磁块通电，磁块吸附托板，引料单元(52)继续工作，带动托板在牵引单元(53)中的滑槽(532)内及滚轴(533)上运动，直至托板移动至束流出口(33)下方；

步骤5、束流由水平部(1)经过转向部(2)转向，进入垂直部(3)经过偏转机构(32)工作，通过改变偏转磁体(321)的输入电流，来调节束流的入射角度，使得束流发生偏转，进而配合送料部(5)工作，完成对晶圆的全面照射工作。