[发明专利]一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法

说明书

本发明公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。

技术领域

本发明涉辐照领域，具体是一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法。

背景技术

芯片领域的质子辐照，一般是指质子、氘束、氦离子辐照，统称为轻离子辐照，习惯上称为“质子辐照”。

芯片制造中的硼、磷等离子注入一般深度为1微米，而质子辐照的深度为几十微米以上，特别是高压功率芯片的质子辐照深度可达几百微米，质子辐照与离子注入是功率芯片环节制造中的不同工艺环节。

芯片制造的工艺流程包含芯片设计、晶圆制造、晶圆测试、封装、成品测试等环节。其中，质子与重离子辐照是晶圆制造中提高芯片性能不可替代的重要工艺手段；是实现功率芯片局域少子寿命控制的唯一可行手段。

现有的束流传输线系统在对晶圆辐照过程中，基本采用与水平面平行的束流传输线完成对晶圆的辐照工作，而在该过程中，为了使得晶圆可以受到束流的辐照，因此晶圆的托板需要与束流传输线相垂直，即需要与水平面垂直，进而达到晶圆可以受到束流的辐照效果，然而当托板与水平面相垂直时，具有如下缺点：

1.晶圆容易在托板上发生脱落，当采用夹具或者卡扣方式卡住晶圆时，辐照就不够全面；

2.当托板需要与水平面相垂直时，托板的送料系统也需要改变整体方位，因此安装不够便捷。

发明内容

发明目的：提供一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法，以解决现有技术存在的上述问题。

技术方案：一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法，包括：

束流传输线；

送料部，位于所述束流传输线的底部；

所述束流传输线包括：

水平部；

转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；

垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；

本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。

所述偏转机构包括设置在所述束流管道周部的偏转槽，以及位于所述偏转槽内且设置在束流管道周部上的偏转磁体。

偏转磁体工作时一般还需要搭配控制系统和偏转检测器使用；

偏转检测器主要用于检测偏转幅度；

控制系统主要用于控制偏转磁体输入电流的强弱，进而达到偏转束流角度的效果。

通过偏转机构与送料部中的引料单元配合工作，使得晶圆可以在束流出口下方完成全面辐照。

在进一步实施例中，所述垂直部还包括固定架，所述偏转槽与所述固定架连接；