[实用新型]夹持装置

说明书

本实用新型提供了一种夹持装置，用于抓取半导体机台上的零件，包括：套筒，所述套筒的内部中空，所述套筒的顶端和底端分别为按动端和抓取端，所述套筒的中部的内壁与所述抓取端的内壁的交界处具有一台阶面；按动机构，滑动设置于所述按动端内；夹持件，设置于所述套筒内，所述夹持件的顶端抵接所述按动机构，所述夹持件的底端延伸至所述抓取端且设有爪子，所述夹持件的中部设有凸起；弹簧，设置于所述套筒内且套设在所述夹持件上，所述弹簧的顶端和底端分别抵接所述凸起和所述台阶面。本实用新型用于在半导体机台的安装或拆卸过程中抓取零件，避免零件丢失，以及因零件掉进半导体机台内部或其附属设备造成的设备宕机和侧漏不过等问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种夹持装置。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)机台在进行日常保养之前会涉及到拆卸各种螺丝，由于所述螺丝与机台相紧，在拆卸过程中螺丝容易掉进真空管道(foreline)或者华夫孔里，从而导致螺丝丢失。其中，直径小于12mm的小螺丝更加容易掉落，严重时还会导致机台的附属设备宕机或出现测漏不过等情况，影响机台复机，从而影响产能。

鉴于此，需要一种装置，避免机台上的螺丝在拆卸过程中掉落，从而因避免机台的螺丝丢失而可能产生的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持装置，用于在半导体机台的安装或拆卸过程中抓取零件，避免零件丢失，同时避免因零件掉进半导体机台内部或其附属设备造成的设备宕机和侧漏不过等问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种夹持装置，用于抓取半导体机台上的零件，包括：

套筒，所述套筒的内部中空，所述套筒的顶端和底端分别为按动端和抓取端，其中，所述套筒的中部的内壁与所述抓取端的内壁的交界处具有一台阶面；

按动机构，滑动设置于所述按动端内；

夹持件，设置于所述套筒的内部，所述夹持件的顶端抵接所述按动机构，所述夹持件的底端延伸至所述抓取端且设置有爪子，所述夹持件的中部设置有凸起；

弹簧，设置于所述套筒内且套设在所述夹持件上，所述弹簧的顶端抵接所述凸起，所述弹簧的底端抵接所述台阶面；

所述夹持装置包括初始状态和抓取状态，初始状态时，所述按动机构位于所述按动端内的第一位置处，所述弹簧处于自然伸长状态，所述爪子位于所述抓取端内；抓取状态时，所述按动机构向下移动至所述按动端内的第二位置处，所述弹簧处于压缩状态，所述爪子伸出所述抓取端并张开。

可选的，所述套筒包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的顶端为所述按动端，所述第一连杆的底端及所述第二连杆的顶端均为连接端且相互连接，所述第二连杆的底端为所述抓取端。

可选的，所述第一连杆的连接端设置有内螺纹，所述第二连杆的连接端设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

可选的，所述套筒中部自上而下包括所述第一连杆的中部、所述第一连杆的连接端、所述第二连杆的连接端及所述第二连杆的中部，所述台阶面位于所述第二连杆的中部的内壁与所述抓取端的内壁的交界处。

可选的，所述按动端的内壁设有导向槽。

可选的，所述按动机构包括与所述导向槽相配合的第一按动组件和第二按动组件，其中，所述第一按动组件和所述第二按动组件均包括封闭端和开放端，所述第一按动组件的顶端为封闭端，所述第一按动组件的底端为开放端，所述第二按动组件的顶端为开放端且与所述第一按动组件的开放端传动连接，所述第二按动组件的底端为封闭端且与所述夹持件相抵接。

可选的，所述第一按动组件的连接端设有第一锯齿，所述第二按动组件的开放端的外壁上设有卡槽，所述卡槽的顶端设置有与所述第一锯齿相配合的第二锯齿。