[实用新型]一种顶升旋转抽真空装置有效

专利信息
申请号: 202220031867.3 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN217676626U 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 党小锋;刘全义;张月兰;翁端佳 申请(专利权)人: 九域半导体科技(苏州)有限公司
主分类号: B66F7/14 分类号: B66F7/14;B66F7/28;F16B47/00
代理公司: 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 代理人: 王佳鑫
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 旋转 真空 装置
【权利要求书】:

1.一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:包括顶升装置、旋转真空装置以及电路装置;所述顶升装置包括步进电机(1)以及套设在步进电机(1)电机转轴上的丝杆螺母(2),还包括推手(3),所述推手(3)上设置有配合穿设在电机转轴上的通孔(31);所述旋转真空装置包括与推手(3)连接的连接板(4),还包括与连接板(4)连接的旋转电机(5),还包括与旋转电机(5)电机转轴连接的托举台(6)。

2.根据权利要求1所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:所述托举台(6)采用吸盘。

3.根据权利要求2所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:所述旋转电机(5)的电机转轴为中空设置。

4.根据权利要求3所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:还包括承接座(7),所述步进电机(1)设置在承接座(7)内,还包括连接在推手(3)上的直线滑轨(32),所述直线滑轨(32)上滑移连接有滑块,所述滑块连接在承接座(7)上。

5.根据权利要求4所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:所述承接座(7)侧壁设置有通槽(71),所述连接板(4)从通槽(71)穿过。

6.根据权利要求5所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:所述电路装置包括控制电路板(8)以及隔离柱(81),所述隔离柱(81)设置在控制电路板(8)与步进电机(1)之间。

7.根据权利要求1所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:还包括光耦(9)。

8.根据权利要求7所述一种顶升旋转抽真空装置,其特征在于:还包括触片(91)。

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