[实用新型]一种半导体锭和晶圆自动判断装置有效
| 申请号： | 202220031870.5 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN217688791U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰;翁端佳 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 王佳鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 判断 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体锭和晶圆自动判断装置，其特征在于：包括直线滑轨组(1)以及滑移连接在直线滑轨组(1)上的承载台(2)，还包括驱动承载台(2)沿直线滑轨组(1)移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机(31)以及传动皮带(32)，还包括设置在承载台(2)侧壁的卡夹(23)，所述传动皮带(32)穿设在卡夹(23)中，还包括检测探头(4)。
2.根据权利要求1所述一种半导体锭和晶圆自动判断装置，其特征在于：所述承载台(2)包括两组平行设置的承载片(21)。
3.根据权利要求2所述一种半导体锭和晶圆自动判断装置，其特征在于：还包括固定板(5)，所述直线滑轨组(1)、承载台(2)、传动皮带(32)设置在固定板(5)上表面，所述驱动电机(31)设置在固定板(5)下表面。
4.根据权利要求3所述一种半导体锭和晶圆自动判断装置，其特征在于：所述固定板(5)上设置有安装架(51)，所述检测探头(4)设置在安装架(51)上。
5.根据权利要求4所述一种半导体锭和晶圆自动判断装置，其特征在于：相邻两组所述承载片(21)之间形成放置槽(22)。
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