[实用新型]一种半导体锭和晶圆自动判断装置

说明书

本实用新型涉及到一种半导体锭和晶圆自动判断装置，包括直线滑轨组以及滑移连接在直线滑轨组上的承载台，还包括驱动承载台沿直线滑轨组移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机以及传动皮带，还包括设置在承载台侧壁的卡夹，所述传动皮带穿设在卡夹中，还包括检测探头；该机构结构简单易拆分、维修与更换，功能齐全，成本低；且能自动判断半导体锭和晶圆，从而降低人工成本并简化设备操作。

技术领域

本实用新型涉及一种测量装置，特别涉及一种半导体锭和晶圆自动判断装置。

背景技术

目前市场上的设备只能测单一的晶圆或者半导体锭，也不具备自动辨别晶圆和半导体锭，以至于需要多台设备分别测定，增加设备和人工成本。本装置适用于半导体锭和晶圆检测一体机，通过自动判断，降低人工成本，提高检测效率，简化设备的操作。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体锭和晶圆自动判断装置。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种半导体锭和晶圆自动判断装置，包括直线滑轨组以及滑移连接在直线滑轨组上的承载台，还包括驱动承载台沿直线滑轨组移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机以及传动皮带，还包括设置在承载台侧壁的卡夹，所述传动皮带穿设在卡夹中，还包括检测探头。

通过采用上述技术方案，该机构结构简单易拆分、维修与更换，功能齐全，成本低；且能自动判断半导体锭和晶圆，从而降低人工成本并简化设备操作。

作为优选，所述承载台包括两组平行设置的承载片。

作为优选，还包括固定板，所述直线滑轨组、承载台、传动皮带设置在固定板上表面，所述驱动电机设置在固定板下表面。

作为优选，所述固定板上设置有安装架，所述检测探头设置在安装架上。

作为优选，相邻两组所述承载片之间形成放置槽。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、该机构结构简单易拆分、维修与更换，功能齐全，成本低；且能自动判断半导体锭和晶圆，从而降低人工成本并简化设备操作；

2、驱动电机转动，从而带动传动皮带运动，传动皮带运动带动卡夹运动，又因为卡夹是固定在承载台上的，所以承载台也可以随着驱动电机转动在直线滑轨组上滑动；而滑动的目的是将待检测物体输送并经过检测探头，从而判断待测物是晶圆还是半导体锭。

附图说明

图1是实施例中整体结构等轴侧示意图；

图2是图1中A部分结构示意图。

图中，1、直线滑轨组；2、承载台；21、承载片；22、放置槽；23、卡夹；31、驱动电机；32、传动皮带；4、检测探头；5、固定板；51、安装架。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

一种半导体锭和晶圆自动判断装置，如图1、2所示，包括直线滑轨组1以及滑移连接在直线滑轨组1上的承载台2，还包括驱动承载台2沿直线滑轨组1移动的驱动装置，驱动装置包括驱动电机31以及传动皮带32，还包括设置在承载台2侧壁的卡夹23，传动皮带32穿设在卡夹23中，还包括检测探头4。