[实用新型]一种反应器内部的气体分布管系统有效
申请号: | 202220106315.4 | 申请日: | 2022-01-14 |
公开(公告)号: | CN216898319U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 柳显宾;张振涛;白宇慧;梁雪庆;吕坤 | 申请(专利权)人: | 烟台万华电子材料有限公司 |
主分类号: | F27B5/16 | 分类号: | F27B5/16 |
代理公司: | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人: | 陈悦军;杨仁波 |
地址: | 264006 山东省烟台市经济技*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反应器 内部 气体 分布 系统 | ||
1.一种反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:包括与外部气源连接的第一进气管路,以及与所述第一进气管路依次连接的伸入反应器内部的第二进气管路、第一接头以及气体分布管,所述气体分布管包括气体支管、第二接头及气体主管,所述第二接头用于分别连接气体支管及气体主管;所述气体主管另一端与第一接头连接,所述气体支管表面设置有若干出气孔;所述气体分布管置于反应器内固体物料承载装置的底部,固体物料覆盖在所述气体分布管表面。
2.根据权利要求1所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:还包括气体流量计,设置在第一进气管路及第二进气管路之间,用于控制气体分布管的出气流量。
3.根据权利要求1或2所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述第一进气管路从反应器顶部或是侧面进入,止于反应器内壁;所述第二进气管路用于连接并延长第一进气管路至反应器内部,其另一端位于固体物料承载装置上方5~15cm处;所述第二进气管路与第一进气管路的连接方式为焊接或卡套连接。
4.根据权利要求1所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述第一接头的两端分别连接第二进气管路和气体分布管的气体主管,所述第一接头为卡套直通接头或卡套弯头或磨砂接头,所述第一接头与所述气体主管之间实现可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述气体主管为石英管材质时,气体主管的进气口为磨砂接头,所述第一接头与气体主管相连一端为磨砂接头,另一端为卡套接头或焊接接头用于与第二进气管路配合连接;所述磨砂接头为互换球形磨砂接头或互换锥形磨砂接头。
6.根据权利要求1所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述气体支管底部表面均匀间隔设置有直径0.5~1.5mm的出气孔,所述出气孔的面积总和是气体主管横截面积的1~1.5倍,所述气体支管一端与第二接头连接,另一端为封堵状态。
7.根据权利要求1或6所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:一个或多个气体支管与气体主管通过分别焊接第二接头相互连接在一起,所述第二接头为一个或多个。
8.根据权利要求7所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述第二接头为三通结构,其一端用于连接气体主管,另两端分别连接两个气体支管,所述气体支管包括连接在一起的多个直管段及弯管段,直管段之间的间距均匀分布,间距为30~60mm。
9.根据权利要求7所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述第二接头一端连接气体主管,另一端连接气体支管,所述气体支管包括多个直管段,每个直管段的一端均连接一第二接头,直管段之间的间距均匀分布,间距为30~60mm。
10.根据权利要求1所述的反应器内部的气体分布管系统,其特征在于:所述反应器为马弗炉或箱式气氛炉,所述固体物料承载装置为坩埚。
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