[实用新型]一种用于扩散炉内的石英舟传送机构

权利要求书

1.一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设有活动座(2)，活动座(2)和安装板(1)通过驱动组件连接，活动座(2)的顶部设有调节板(3)，调节板(3)的顶部固定连接有两个第一固定板(4)，两个第一固定板(4)相靠近的一侧均设有第一夹持限位板(5)，两个第一夹持限位板(5)之间设有载物台(6)，载物台(6)的底部与调节板(3)的顶部固定连接，调节板(3)的顶部设有与两个第一夹持限位板(5)相配合的第一异向移动机构，载物台(6)的两侧均设有第二夹持限位板(7)，调节板(3)的两侧均固定连接有第一支撑侧板(8)，第一支撑侧板(8)的顶部固定连接有第二固定板(12)，两个第二固定板(12)与两个第二夹持限位板(7)通过第二异向移动机构连接，第一支撑侧板(8)和活动座(2)通过升降调节组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述驱动组件包括设置于活动座(2)一侧的第一螺纹柱(9)，第一螺纹柱(9)贯穿活动座(2)，第一螺纹柱(9)与活动座(2)的连接方式为螺纹连接，安装板(1)的两侧均固定连接有第三固定板(23)，第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过第一轴承(13)连接，第一螺纹柱(9)的另一端贯穿另一个第三固定板(23)，且第一螺纹柱(9)的一端与其中一个第三固定板(23)通过驱动电机(14)连接，活动座(2)与安装板(1)通过滑行单元连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述滑行单元包括开设于安装板(1)顶部的滑槽(10)，滑槽(10)内设有滑块(11)，滑块(11)的顶部与活动座(2)的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述升降调节组件包括对称设置于活动座(2)两侧的第二支撑侧板(16)，第二支撑侧板(16)的一侧与活动座(2)的一侧固定连接，其中一个第一支撑侧板(8)的下方设有第二螺纹柱(15)，另一个第一支撑侧板(8)的下方设有定位柱(17)，第二螺纹柱(15)和定位柱(17)分别贯穿两个第二支撑侧板(16)，其中一个第二螺纹柱(15)的一端与其中一个第一支撑侧板(8)通过第二轴承(18)连接，另一个定位柱(17)的顶部与另一个第一支撑侧板(8)固定连接，第二螺纹柱(15)和第二支撑侧板(16)的连接方式为螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第二螺纹柱(15)上设有把手(19)，两个第一夹持限位板(5)相靠近的一侧和两个第二夹持限位板(7)相靠近的一侧均设有防滑垫(27)。

6.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第一异向移动机构包括设置于载物台(6)一侧的第一双向丝杆(20)，第一双向丝杆(20)贯穿两个第一夹持限位板(5)，第一夹持限位板(5)和第一双向丝杆(20)的连接方式为螺纹连接，第一双向丝杆(20)贯穿载物台(6)，第一双向丝杆(20)的一端与其中一个第一固定板(4)通过第三轴承(21)连接，第一双向丝杆(20)的另一端贯穿另一个第一固定板(4)，且第一双向丝杆(20)的一端固定连接有第一转盘(22)，第一夹持限位板(5)的底部与调节板(3)的顶部相接触。

7.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，其特征在于：所述第二异向移动机构包括设置于载物台(6)一侧的第二双向丝杆(24)，第二双向丝杆(24)贯穿两个第二夹持限位板(7)，第二夹持限位板(7)和第二双向丝杆(24)的连接方式为螺纹连接，第二双向丝杆(24)贯穿载物台(6)，第二双向丝杆(24)的一端与其中一个第二固定板(12)通过第四轴承(25)连接，第二双向丝杆(24)的另一端贯穿另一个第二固定板(12)，且第二双向丝杆(24)的一端固定连接有第二转盘(26)，第二夹持限位板(7)的底部与第一支撑侧板(8)的顶部相接触。