[实用新型]一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置有效
申请号: | 202220139202.4 | 申请日: | 2022-01-19 |
公开(公告)号: | CN217453440U | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 李长坤;谢永奕 | 申请(专利权)人: | 广东硅峰半导体有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 王峰刚 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 表面 腐蚀 防护 装置 | ||
1.一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,包括抛光机体(1),其特征在于:所述抛光机体(1)的顶部分别固定安装有台面(2)和支撑架(13),所述支撑架(13)的顶部焊接有横梁(14),所述台面(2)顶部的内侧固定安装有防腐层(3),所述台面(2)的顶部活动连接有夹持装置;
所述夹持装置包括第一夹具(4)和第二夹具(9),所述第一夹具(4)的左侧设有调节杆(5),所述调节杆(5)的外侧套接有压力弹簧(6),所述压力弹簧(6)的外部设有外壳(7),所述压力弹簧(6)的右侧设有限位块(8),所述第二夹具(9)的正面固定安装有连接件(10),所述连接件(10)的底部固定连接有滑块(11),所述第二夹具(9)的右侧设有电动推杆(12)。
2.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述横梁(14)的底部固定安装有条形灯(15),所述支撑架(13)的数量为两个。
3.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述第一夹具(4)的左侧与调节杆(5)的右侧固定连接,所述调节杆(5)插接于外壳(7)和台面(2)的内侧。
4.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述外壳(7)固定安装于台面(2)的左侧,所述限位块(8)固定安装于调节杆(5)的外部。
5.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述第二夹具(9)的右侧与电动推杆(12)的输出端固定连接,所述电动推杆(12)固定安装于支撑架(13)的外侧。
6.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述抛光机体(1)的底部固定安装有万向轮,所述万向轮的数量不少于四个。
7.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述台面(2)的正面开设有滑槽,所述滑块(11)滑动连接于滑槽的内侧。
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