[实用新型]一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置有效

专利信息
申请号: 202220139202.4 申请日: 2022-01-19
公开(公告)号: CN217453440U 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 李长坤;谢永奕 申请(专利权)人: 广东硅峰半导体有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 王峰刚
地址: 528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 表面 腐蚀 防护 装置
【权利要求书】:

1.一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,包括抛光机体(1),其特征在于:所述抛光机体(1)的顶部分别固定安装有台面(2)和支撑架(13),所述支撑架(13)的顶部焊接有横梁(14),所述台面(2)顶部的内侧固定安装有防腐层(3),所述台面(2)的顶部活动连接有夹持装置;

所述夹持装置包括第一夹具(4)和第二夹具(9),所述第一夹具(4)的左侧设有调节杆(5),所述调节杆(5)的外侧套接有压力弹簧(6),所述压力弹簧(6)的外部设有外壳(7),所述压力弹簧(6)的右侧设有限位块(8),所述第二夹具(9)的正面固定安装有连接件(10),所述连接件(10)的底部固定连接有滑块(11),所述第二夹具(9)的右侧设有电动推杆(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述横梁(14)的底部固定安装有条形灯(15),所述支撑架(13)的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述第一夹具(4)的左侧与调节杆(5)的右侧固定连接,所述调节杆(5)插接于外壳(7)和台面(2)的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述外壳(7)固定安装于台面(2)的左侧,所述限位块(8)固定安装于调节杆(5)的外部。

5.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述第二夹具(9)的右侧与电动推杆(12)的输出端固定连接,所述电动推杆(12)固定安装于支撑架(13)的外侧。

6.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述抛光机体(1)的底部固定安装有万向轮,所述万向轮的数量不少于四个。

7.根据权利要求1所述的一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,其特征在于:所述台面(2)的正面开设有滑槽,所述滑块(11)滑动连接于滑槽的内侧。

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