[实用新型]一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置有效

专利信息
申请号: 202220139202.4 申请日: 2022-01-19
公开(公告)号: CN217453440U 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 李长坤;谢永奕 申请(专利权)人: 广东硅峰半导体有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 王峰刚
地址: 528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 表面 腐蚀 防护 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,包括抛光机体,所述抛光机体的顶部分别固定安装有台面和支撑架,所述支撑架的顶部焊接有横梁,所述台面顶部的内侧固定安装有防腐层,所述台面的顶部活动连接有夹持装置,所述夹持装置包括第一夹具和第二夹具,所述第一夹具的左侧设有调节杆,所述调节杆的外侧套接有压力弹簧,所述压力弹簧的外部设有外壳,所述压力弹簧的右侧设有限位块,所述第二夹具的正面固定安装有连接件,所述连接件的底部固定连接有滑块,所述第二夹具的右侧设有电动推杆。该硅抛光片用表面腐蚀防护装置,能够更好的适应不同大小硅抛光片的固定工作,通过该装置能够适应不同规格的硅抛光片加工,具有良好的适用性能。

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光技术领域,具体为一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置。

背景技术

硅抛光片一般是制造过程中的假片,是为了设备运行和保护晶圆片而重复使用,属于生产辅料,万万不可混料出货,也有另一个叫抛光的是后工程专业名词,为晶圆片封装切割前必须在反面磨薄抛光,也会叫抛光片,抛光打磨装置通常是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工,同时在对硅抛光片加工时还设置有表面腐蚀防护装置,以保证硅抛光片使用的持久度。

但是市场上的抛光打磨装置在加工时有一定的局限性,例如,现有的抛光打磨装置在使用时需要对加工品进行夹持固定,在对不同大小的加工品进行固定时,较为麻烦,不能灵活满足不同加工品的加工需求的问题,给产品加工造成了不便,难以满足使用需求,因此提出了一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置来解决上述中所存在的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,具备方便调节夹持宽度等优点,解决了现有的抛光打磨装置不能灵活满足不同加工品加工需求的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,包括抛光机体,所述抛光机体的顶部分别固定安装有台面和支撑架,所述支撑架的顶部焊接有横梁,所述台面顶部的内侧固定安装有防腐层,所述台面的顶部活动连接有夹持装置;

所述夹持装置包括第一夹具和第二夹具,所述第一夹具的左侧设有调节杆,所述调节杆的外侧套接有压力弹簧,所述压力弹簧的外部设有外壳,所述压力弹簧的右侧设有限位块,所述第二夹具的正面固定安装有连接件,所述连接件的底部固定连接有滑块,所述第二夹具的右侧设有电动推杆。

进一步,所述横梁的底部固定安装有条形灯,所述支撑架的数量为两个。

进一步,所述第一夹具的左侧与调节杆的右侧固定连接,所述调节杆插接于外壳和台面的内侧。

进一步,所述外壳固定安装于台面的左侧,所述限位块固定安装于调节杆的外部。

进一步,所述第二夹具的右侧与电动推杆的输出端固定连接,所述电动推杆固定安装于支撑架的外侧。

进一步,所述抛光机体的底部固定安装有万向轮,所述万向轮的数量不少于四个。

进一步,所述台面的正面开设有滑槽,所述滑块滑动连接于滑槽的内侧。

与现有技术相比,本申请的技术方案具备以下有益效果:

该硅抛光片用表面腐蚀防护装置,通过将夹持装置中第一夹具和第二夹具之间的间距进行调节,进而能够更好的适应不同大小硅抛光片的固定工作,能够更加方便对硅抛光片进行夹持,同时该设置能够轻松实现对硅抛光片的夹持固定,通过该装置能够适应不同规格的硅抛光片加工,具有良好的适用性能,有效解决了现有的抛光打磨装置在使用时需要对加工品进行夹持固定,在对不同大小的加工品进行固定时,较为麻烦,不能灵活满足不同加工品的加工需求的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型图1所示A的放大结构示意图;

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