[实用新型]一种单晶炉副室有效
| 申请号： | 202220145965.X | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN216639704U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 周云龙 | 申请（专利权）人： | 浙江晶泰半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 陈包杰 |
| 地址： | 325600 浙江省温州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉副室 | ||
1.一种单晶炉副室，包括单晶炉副室本体（1），其特征在于：所述单晶炉副室本体（1）的侧壁至少设有一个清洗窗（2），所述清洗窗（2）包括焊接于所述单晶炉副室本体（1）侧壁上的底座（3）以及通过铰链（17）铰接于所述底座（3）一端的上盖（4），所述上盖（4）内设有冷却液流道（5）、一侧设有与所述冷却液流道（5）连通的进水口（6）和出水口（7）。
2.根据权利要求1所述的单晶炉副室，其特征在于：所述冷却液流道（5）由相对的设置在所述上盖（4）上端、且交错设置的第一筋板（8）、第二筋板（9）围成，在所述上盖（4）上端焊接有封盖于所述冷却液流道（5）的封盖板（10）。
3.根据权利要求2所述的单晶炉副室，其特征在于：所述封盖板（10）对应所述第一筋板（8）、第二筋板（9）位置处设有焊接孔（11）。
4.根据权利要求1所述的单晶炉副室，其特征在于：所述底座（3）、上盖（4）之间设有密封圈（12）。
5.根据权利要求1所述的单晶炉副室，其特征在于：所述底座（3）的另一端通过安装座（13）设有可转动的螺杆座（14），所述螺杆座（14）上设有锁紧螺杆（15），所述上盖（4）上设有与所述锁紧螺杆（15）配合的“U”形锁紧口（16）。
6.根据权利要求1所述的单晶炉副室，其特征在于：所述单晶炉副室本体（1）侧壁的上、中、下位置均设有所述清洗窗（2）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶泰半导体有限公司，未经浙江晶泰半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220145965.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种金属家具面板稳定性转角连接件
- 下一篇：一种农机用耕地犁
