[实用新型]一种新型真空镀膜工艺室

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种新型真空镀膜工艺室，该镀膜工艺室为单元式结构，镀膜工艺室包括由隔板隔开的多个镀膜单元室，每个镀膜单元室结构一致，可根据工艺需求灵活调整；镀膜工艺室由相互首尾相连的两个端板、两个端板组成框架，框架的内腔等间隔设置有多个隔板，隔板将框架内腔分割成多个结构一致的镀膜单元室；所述镀膜单元室的底部设置有底板，一侧侧板上安装有用于连接真空计的真空法兰，另一个侧板的顶端设置有沿口板，镀膜单元室上设置有溅射阴极盖板和分子泵盖板。本方案在镀膜工艺室上增加了一个门阀室单元，大大缩短了设备维护及开机时间；双道密封结构的设计极大的提高了镀膜工艺室工艺压力的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种新型真空镀膜工艺室。

背景技术

真空镀膜工艺室是真空镀膜设备的核心部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空室中进行。在真空镀膜室中安装不同的功能部件，真空镀膜设备就能实现不同的镀膜工艺。

镀膜室的结构设计应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，且应具有良好的刚度稳定性。由于镀膜室为承受外压的容器，对于不带冷却水套的镀膜室，其内外压差相当于大气压，即受外部压力101325Pa。镀膜室的结构将影响整个构件的变形和承压情况。

镀膜工艺的结构设计有各种形状的，如球型、圆型、方型等；目前镀膜工艺室的设计分子泵位置和溅射阴极位置不能灵活互换，溅射阴极的排布受到一定限制，造成产品工艺不能灵活，镀膜维护次数频繁，获得的产品质量不稳定，产能效率低，使用成本高，不能满足目前高质量镀膜工艺生产需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型真空镀膜工艺室，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型真空镀膜工艺室，该镀膜工艺室为单元式结构，镀膜工艺室包括由隔板隔开的多个镀膜单元室，每个镀膜单元室结构一致，可根据工艺需求灵活调整；所述镀膜工艺室包括端板、阀室门板、底板、隔板、侧板、沿口板、U型加强筋、连接腿板、传动支撑条、观察窗、水冷法兰、真空法兰、溅射阴极盖板、分子泵盖板，镀膜工艺室由相互首尾相连的两个端板、两个端板组成框架，框架的内腔等间隔设置有多个隔板，隔板将框架内腔分割成多个结构一致的镀膜单元室；所述镀膜单元室的底部设置有底板，其中一个侧板上安装有用于连接真空计的真空法兰，另一个侧板的顶端设置有沿口板，该侧板上还设置有水冷法兰、用于在设备工作过程中观察产品及设备运行动态的观察窗；所述镀膜单元室上设置有溅射阴极盖板和分子泵盖板，溅射阴极盖板和分子泵盖板通过沿口板实现密封。

优选的，所述隔板上开设有用于玻璃或产品进出的出入通道。

优选的，每个所述镀膜单元室的阀室门板上均设置有控制门阀。

优选的，所述隔板上间隔开设有多个作为分子泵单元的方孔，用于将溅射阴极产生的多余的工艺气体抽出，提供溅射单元所需气压稳定的氛围。

优选的，所述镀膜工艺室的端板、分子泵盖板、溅射阴极盖板均采用双道密封结构，减小双道密封区与真空镀膜工艺区的压力差。

优选的，每一个所述双道密封结构的中间均开设有抽真空孔。

优选的，所述U型加强筋设置在每个镀膜单元室的隔板的内侧，U型加强筋的底部设置有连接腿板。

优选的，所述镀膜单元室的底部间隔设置有多个传动支撑条，侧板上设置有用于安装传动电机的传动电机法兰。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型提供的一种新型真空镀膜工艺室，该真空镀膜工艺室为单元式结构的镀膜工艺室，每个镀膜室工艺单元结构一样，可以根据工艺需求灵活调整，分子泵位置与溅射阴极位置能够灵活互换。