[实用新型]一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置

说明书

本实用新型公开了一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，包括储存柜和罩设在储存柜外侧的防护罩；所述储存柜的下方设置有电磁铁和若干移动轮；所述防护罩固定设置在底板上，所述底板位于储存柜的下方，所述底板上与若干移动轮相对应处开设有若干竖向通孔，所述底板的上表面设置有与所述电磁铁相配合的磁性金属件；所述储存柜的一侧设置有柜门，所述防护罩为半包围结构，所述防护罩上与所述柜门相对应处设置有罩体缺口；所述底板的下板面设置有粗糙摩擦垫。本实用新型具有良好的防碰撞功能，能够避免外物碰撞导致晶圆受损，且储存装置移动方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆储存设备，尤其涉及一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置。

背景技术

在半导体晶圆生产加工完成后，有时需要将半导体晶圆进行暂时性储存。外物碰触到储存装置时会产生振动，容易造成半导体晶圆受损，现有的储存装置的防护效果不佳，不具备防碰撞功能，存在改进空间。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，具有良好的防碰撞功能，能够避免外物碰撞导致晶圆受损，且储存装置移动方便。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，包括储存柜和罩设在储存柜外侧的防护罩；所述储存柜的下方设置有电磁铁和若干移动轮；所述防护罩固定设置在底板上，所述底板位于储存柜的下方，所述底板上与若干移动轮相对应处开设有若干竖向通孔，所述底板的上表面设置有与所述电磁铁相配合的磁性金属件；储存柜通过电磁铁和磁性金属件可以吸起底板，使底板的上板面与储存柜的下底相贴。

所述储存柜的一侧设置有柜门，所述防护罩为半包围结构，所述防护罩上与所述柜门相对应处设置有罩体缺口。

所述防护罩是由若干框条状材料组成的镂空罩体。

所述底板的下板面设置有粗糙摩擦垫；当底板与储存柜相互分离时，底板下板面通过粗糙摩擦垫与地面相接。

所述储存柜的下底四角处设置有锥形孔，所述底板的上端四角处设置有锥形插块。

所述电磁铁设置在所述储存柜的下底中心处，所述磁性金属件设置在所述底板的上端中心处。

有益效果：本实用新型的一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，其有益效果如下：

1)当储存柜停在某处时，底板与储存柜相互分离，底板下端的粗糙摩擦垫与地面相接，固定在底板上的防护罩对储存柜进行防护，可以有效避免外物直接碰触储存柜；

2)当需要移动储存柜时，通过储存柜下端的电磁铁和底板上端的磁性金属件将底板吸起，使粗糙摩擦垫离开地面，储存柜移动时可以带动防护罩移动。

附图说明

附图1为本实用新型的平面示意图；

附图2为本实用新型的底部示意图；

附图3为储存柜的结构示意图；

附图4为防护罩的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如附图1至4所述的一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，包括储存柜1和罩设在储存柜1外侧的防护罩2。所述储存柜1的下方设置有电磁铁3和若干移动轮4。所述防护罩2的下端固定设置在底板5上，底板5为水平板体，所述底板5位于储存柜 1的下方，所述底板5上与若干移动轮4相对应处开设有若干竖向通孔6，竖向通孔6 的竖向投影面积要大于移动轮4的竖向投影面积。所述底板5的上表面设置有与所述电磁铁3相配合的磁性金属件7，储存柜1通过电磁铁3和磁性金属件7可以吸起底板5，使底板4的上板面与储存柜1的下底相贴。