[实用新型]一种扩散炉密封炉门有效

专利信息
申请号: 202220199609.6 申请日: 2022-01-25
公开(公告)号: CN217154981U 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 赵海军;孟庆昌 申请(专利权)人: 青岛海通达微电子有限公司
主分类号: F27D1/18 分类号: F27D1/18
代理公司: 山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙) 37326 代理人: 李勇鹏
地址: 266109 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 密封 炉门
【权利要求书】:

1.一种扩散炉密封炉门,其特征在于,包括炉体(1)、翻转机构(2)、开关机构(3)和密封机构(4),所述翻转机构(2)设置于炉体(1)的内腔,所述开关机构(3)设置于翻转机构(2)的内腔,所述密封机构(4)设置于炉体(1)的一端;

所述翻转机构(2)中的安装箱(21)安装于炉体(1)的顶部,所述开关机构(3)中的连接箱(31)设置于安装箱(21)内腔,所述密封机构(4)中的连接架(41)设置于炉体(1)的一端;

所述开关机构(3)还包括有第二电机(32)、第三齿轮(33)、齿板(34)、连接板(35)、滑槽(36)和滑块(37),所述第二电机(32)安装于连接箱(31)内腔的一侧,所述第三齿轮(33)与第二电机(32)的输出轴键连接,所述连接板(35)啮合于第三齿轮(33)的底部,所述连接板(35)安装于齿板(34)的底部,所述滑槽(36)开设于连接板(35)的底部,所述滑块(37)滑动连接于滑槽(36)的内腔,所述滑块(37)的底部与连接箱(31)内腔的底部安装。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述翻转机构(2)包括第一电机(22)、第一齿轮(23)、第二齿轮(24)和转杆(25),所述第一电机(22)安装于安装箱(21)内腔的背面,所述第一齿轮(23)与第一电机(22)的输出轴键连接。

3.根据权利要求2所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述第二齿轮(24)啮合于第一齿轮(23)的一侧,所述转杆(25)贯穿于第二齿轮(24)的两侧,所述转杆(25)的一端与连接箱(31)的背面安装,所述转杆(25)另一端与安装箱(21)内腔的背面活动安装。

4.根据权利要求2所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述连接箱(31)表面的上部安装有横杆,所述横杆的一端与安装箱(21)内腔表面的上部活动安装。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述密封机构(4)包括炉门本体(42)和封堵(43),所述炉门本体(42)安装于连接架(41)背面的下部,所述连接架(41)背面的上部与连接板(35)的表面安装,所述封堵(43)安装于炉门本体(42)的背面。

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述炉门本体(42) 的背面且位于封堵(43)的外侧安装有陶瓷纤维圈,所述封堵(43)的一端安装有陶瓷纤维板。

7.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述炉体(1)的底部设置有支撑机构(5),所述支撑机构(5)包括支板(51)、支柱(52)和放置板(53),所述支板(51)安装于炉体(1)的底部,所述支柱(52)安装于支板(51)底部的四周,所述放置板(53)安装于支板(51)的表面。

8.根据权利要求1所述的一种扩散炉密封炉门,其特征在于,所述炉体(1)的表面开设有炉口(6),所述安装箱(21)的表面开设有第一贯穿口,所述连接箱(31)的表面开设有第二贯穿口。

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