[实用新型]一种扩散炉密封炉门

说明书

本实用新型涉及扩散炉技术领域，提供了一种扩散炉密封炉门，包括炉体、翻转机构、开关机构和密封机构；本实用新型通过开关机构的设置，可有效的对炉门本体实现开关的作用，并且减少其占用的空间，同时避免了人为开关内部出现热浪对工作人员造成伤害，以降低其危险性，并且提高了开关的紧密性以及密封效果，经翻转机构的设置，可用于在打开时将其旋转至上方，以便于人们进行进料出料工作，并且辅助开关机构对其进行开关工作，使其达到更好的效果，利用密封机构的设置，可用于对其起到密封的作用，并且方便保证其内部温度的稳定性，而支撑机构可用于对炉体进行支撑，并且还可防止工具或是物料从而便于人们的后续操作。

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，尤其涉及一种扩散炉密封炉门。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。其主要用于对单晶硅或多晶硅等进行退火等，而单晶硅或多晶硅片插放在石英舟或者叫石英管上，石英舟或石英管为放置单晶硅或多晶硅的放置架，进行加热或退火时，直接将插放有单晶硅或多晶硅片的石英舟或石英管放置在炉体内。

其中扩散炉在工作时需要用到到炉门对其进行密封，但现有的扩散炉炉门在开关的过程中占用较大的空间，同时其需要人为操作，而人为操作过程中会出现一定的危险性，不仅不利于安全生产，同时手动关闭降低了其密封效果。

实用新型内容

基于上述背景，本实用新型的目的是提供一种扩散炉密封炉门，以降低开关时所占用的空间，并且避免人为开关造成的密封不良的现象发生，同时降低了工作的危险性。

为实现以上目的，本实用新型采用以下的技术方案：

一种扩散炉密封炉门，包括炉体、翻转机构、开关机构和密封机构，所述翻转机构设置于炉体的内腔，所述开关机构设置于翻转机构的内腔，所述密封机构设置于炉体的一端；

所述翻转机构中的安装箱安装于炉体的顶部，所述开关机构中的连接箱设置于安装箱内腔，所述密封机构中的连接架设置于炉体的一端；

所述开关机构还包括有第二电机、第三齿轮、齿板、连接板、滑槽和滑块，所述第二电机安装于连接箱内腔的一侧，所述第三齿轮与第二电机的输出轴键连接，所述连接板啮合于第三齿轮的底部，所述连接板安装于齿板的底部，所述滑槽开设于连接板的底部，所述滑块滑动连接于滑槽的内腔，所述滑块的底部与连接箱内腔的底部安装。

优选的，所述翻转机构包括第一电机、第一齿轮、第二齿轮和转杆，所述第一电机安装于安装箱内腔的背面，所述第一齿轮与第一电机的输出轴键连接。

优选的，所述第二齿轮啮合于第一齿轮的一侧，所述转杆贯穿于第二齿轮的两侧，所述转杆的一端与连接箱的背面安装，所述转杆另一端与安装箱内腔的背面活动安装。

优选的，所述连接箱表面的上部安装有横杆，所述横杆的一端与安装箱内腔表面的上部活动安装。

优选的，所述密封机构包括炉门本体和封堵，所述炉门本体安装于连接架背面的下部，所述连接架背面的上部与连接板的表面安装，所述封堵安装于炉门本体的背面。

优选的，所述炉门本体的背面且位于封堵的外侧安装有陶瓷纤维圈，所述封堵的一端安装有陶瓷纤维板。

优选的，所述炉体的底部设置有支撑机构，所述支撑机构包括支板、支柱和放置板，所述支板安装于炉体的底部的底部，所述支柱安装于支板底部的四周，所述放置板安装于支板的表面。

优选的，所述炉体的表面开设有炉口，所述安装箱的表面开设有第一贯穿口，所述连接箱的表面开设有第二贯穿口。

本实用新型具有以下有益效果：