[实用新型]一种晶体生长用加热器有效
申请号: | 202220215429.2 | 申请日: | 2022-01-26 |
公开(公告)号: | CN216765123U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 刘刚 | 申请(专利权)人: | 成都晶九科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 成都厚为专利代理事务所(普通合伙) 51255 | 代理人: | 夏柯双 |
地址: | 611731 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 加热器 | ||
1.一种晶体生长用加热器,包括机壳(1)以及磁感通阀(2),其特征在于:所述机壳(1)顶端以及底端内侧均固定连接有磁感通阀(2),所述磁感通阀(2)内部嵌合固定连通有磁导线圈(3),所述机壳(1)内侧设置有依附融晶机构以及隔热防护机构,所述依附融晶机构包括磁感通阀(2)以及磁导线圈(3),所述机壳(1)左右两端内侧固定连接有电动轨台(4)以及陶瓷柱架(5),所述电动轨台(4)以及陶瓷柱架(5)外侧嵌合滑动连接有融料箱(6),所述融料箱(6)内部嵌合固定连接有感热板(7),所述感热板(7)内部嵌合固定连接有坩埚架(8),所述融料箱(6)左右两端外侧嵌合固定连接有感应通杆(9),所述感热板(7)底端内侧以及感应通杆(9)左右两端内侧均黏附固定连接有单晶垫块(10)。
2.根据权利要求1所述一种晶体生长用加热器,其特征在于:所述融料箱(6)顶端外侧接触连接有阀盖(11),所述阀盖(11)内部以及融料箱(6)顶端内侧均螺纹连接有螺柱(12),所述机壳(1)顶端内侧固定连接有挡板(13)。
3.根据权利要求1所述一种晶体生长用加热器,其特征在于:所述隔热防护机构包括机壳(1),所述机壳(1)内侧嵌合固定连接有玻璃棉垫(14),所述玻璃棉垫(14)顶端、底端、左端以及右端内侧均固定连接有石棉框架(15),所述石棉框架(15)内侧固定连接有气凝胶贴片(16)。
4.根据权利要求1所述一种晶体生长用加热器,其特征在于:所述电动轨台(4)以及陶瓷柱架(5)外侧与石棉框架(15)以及气凝胶贴片(16)内部嵌合固定连接。
5.根据权利要求1所述一种晶体生长用加热器,其特征在于:所述电动轨台(4)以及陶瓷柱架(5)横向分布在磁导线圈(3)内部。
6.根据权利要求3所述一种晶体生长用加热器,其特征在于:所述石棉框架(15)以及气凝胶贴片(16)均有四个,且呈对称分布在所述机壳(1)竖向中轴线位置的两侧。
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