[实用新型]一种晶体生长用加热器有效
申请号: | 202220215429.2 | 申请日: | 2022-01-26 |
公开(公告)号: | CN216765123U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 刘刚 | 申请(专利权)人: | 成都晶九科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 成都厚为专利代理事务所(普通合伙) 51255 | 代理人: | 夏柯双 |
地址: | 611731 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 加热器 | ||
本实用新型涉及激光晶体制备技术领域,尤其为一种晶体生长用加热器,包括机壳以及磁感通阀,所述机壳内侧设置有依附融晶机构以及隔热防护机构,所述依附融晶机构包括磁感通阀以及磁导线圈,所述机壳左右两端内侧固定连接有电动轨台以及陶瓷柱架,所述电动轨台以及陶瓷柱架外侧嵌合滑动连接有融料箱,所述融料箱内部嵌合固定连接有感热板,所述感热板内部嵌合固定连接有坩埚架,所述融料箱左右两端外侧嵌合固定连接有感应通杆,所述感热板底端内侧以及感应通杆左右两端内侧均黏附固定连接有单晶垫块,本实用新型通过磁感通阀、磁导线圈、感热板、感应通杆以及单晶垫块完成对晶体的依附融晶加热生长功能。
技术领域
本实用新型涉及激光晶体制备技术领域,具体为一种晶体生长用加热器。
背景技术
生长晶体的技术主要有直拉法、热交换法,温梯法,泡生法等,直拉法与温梯法主要生长100kg以下的晶体,热交换法生长的单晶外部易开裂,晶体易出现气泡、杂质坑及散射中心等缺陷,目前生长晶体的主要使用通过加热器加热提供合适的温度,且生长前将籽晶牢牢固定于籽晶杆上,籽晶杆与热交换器中的工作晶料直接接触,从而通过晶体、籽晶与热交换器之间形成一个热交换系统,在生长炉内形成温度梯度促进晶体的单晶生长。
一般晶体生长用加热器存在有未设置便于匀化磁圈加热的依附融晶机构的问题,不便于对晶料进行匀化加热以及依附融晶,一般晶体生长用加热器存在有未设置便于隔热防护机构的问题,导致对机壳以及融料箱的阻热防护效果较差,因此,针对上述问题提出一种晶体生长用加热器。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶体生长用加热器,以解决上述背景技术中提出的不便于对晶料进行匀化加热依附融晶以及对机壳以及融料箱的阻热防护效果较差的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种晶体生长用加热器,包括机壳以及磁感通阀,所述机壳顶端以及底端内侧均固定连接有磁感通阀,所述磁感通阀内部嵌合固定连通有磁导线圈,所述机壳内侧设置有依附融晶机构以及隔热防护机构,所述依附融晶机构包括磁感通阀以及磁导线圈,所述机壳左右两端内侧固定连接有电动轨台以及陶瓷柱架,所述电动轨台以及陶瓷柱架外侧嵌合滑动连接有融料箱,所述融料箱内部嵌合固定连接有感热板,所述感热板内部嵌合固定连接有坩埚架,所述融料箱左右两端外侧嵌合固定连接有感应通杆,所述感热板底端内侧以及感应通杆左右两端内侧均黏附固定连接有单晶垫块。
优选的,所述融料箱顶端外侧接触连接有阀盖,所述阀盖内部以及融料箱顶端内侧均螺纹连接有螺柱,所述机壳顶端内侧固定连接有挡板。
优选的,所述隔热防护机构包括机壳,所述机壳内侧嵌合固定连接有玻璃棉垫,所述玻璃棉垫顶端、底端、左端以及右端内侧均固定连接有石棉框架,所述石棉框架内侧固定连接有气凝胶贴片。
优选的,所述电动轨台以及陶瓷柱架外侧与石棉框架以及气凝胶贴片内部嵌合固定连接。
优选的,所述电动轨台以及陶瓷柱架横向分布在磁导线圈内部。
优选的,所述石棉框架以及气凝胶贴片均有四个,且呈对称分布在所述机壳竖向中轴线位置的两侧。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型中,通过设置的机壳、磁感通阀、磁导线圈、电动轨台、陶瓷柱架、融料箱、感热板、坩埚架、感应通杆以及单晶垫块,在装置使用时将单晶垫块与感热板内侧支杆以及感应通杆黏合固定,并向融料箱内部添加待融晶的晶料,通过磁感通阀带动磁导线圈启动,通过感热板以及感应通杆接收磁导线圈进行电磁加热,对坩埚架内部设置的晶料进行融料,通过电动轨台以及陶瓷柱架对融料箱进行横向匀速滑动,通过融料箱与磁导线圈的移动间距完成对不同磁感温度带对晶料进行匀化电磁加热,通过融晶对单晶垫块的依附固化完成对单晶体的晶体层覆生长功能并形成晶体毛坯块,解决了一般晶体生长用加热器未设置便于匀化磁圈加热的依附融晶机构的问题,极大提高了装置的实用性;
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