[实用新型]一种清洗装置有效
| 申请号： | 202220229831.6 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN217289490U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 谈仁翌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟玉敏 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括：喷射单元、保护盒、旋转组件以及具有一可转动内环的轴承；
其中，所述喷射单元位于所述保护盒上方，所述喷射单元的喷射面朝向待清洗物，所述保护盒的底部具有一进液口；
所述轴承和所述旋转组件位于所述保护盒内；
所述轴承与所述保护盒内壁连接，且所述可转动内环与所述进液口的位置相适应；所述旋转组件的一端与所述可转动内环连接，所述旋转组件的另一端与所述喷射单元连接；
所述轴承和所述旋转组件共同连通所述进液口和所述喷射单元。
2.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述旋转组件为叶轮，所述叶轮的底部具有一叶轮环，所述旋转组件的一端插入所述可转动内环包括：所述叶轮的叶轮环插入所述可转动内环。
3.如权利要求2所述的一种清洗装置，其特征在于，所述叶轮的材质包括特氟龙和/或所述轴承的材质包括陶瓷。
4.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述轴承与所述保护盒相适配，所述轴承与所述保护盒内壁连接包括：所述轴承的外侧与所述保护盒的内侧壁连接，所述轴承的底部与所述保护盒的底部连接。
5.如权利要求4所述的一种清洗装置，其特征在于，所述轴承的外侧设有一卡槽，所述轴承利用所述卡槽与所述保护盒连接；所述轴承的可转动内环上也设有一卡槽，所述可转动内环利用所述卡槽与所述旋转组件连接。
6.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述保护盒的底部还设有一排液孔，所述排液孔用于排出所述保护盒内多余液体。
7.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，还包括一进液管和一阀门，所述进液管与所述进液口连接，所述阀门设置在所述进液管上用于控制所述进液管的液体流量。
8.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述喷射单元朝向所述保护盒的一面和所述保护盒之间具有间隙。
9.如权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于，所述喷射单元的喷射面上设有多个喷嘴。
10.如权利要求9所述的一种清洗装置，其特征在于，多个所述喷嘴具有不同的喷射角度。
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