[实用新型]一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构

权利要求书

1.一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，包括球头及扣于球头上用于承载单晶硅棒的外罩体，所述球头与外罩体之间具有摆动间隙，外罩体内部铰接有能吸附球头与外罩体实现外罩体定位的电磁铁。

2.根据权利要求1所述的一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，所述外罩体包括上压紧块和下壳体；所述上压紧块与下壳体固定连接，所述电磁铁顶部具有球状凸起，所述球状凸起嵌于上压紧块内实现电磁铁与外罩体的铰接链接。

3.根据权利要求2所述的一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，所述上压紧块内腔下部与下壳体内腔上部结合处具有球状内腔面，弧形球面与球头之间形成摆动间隙。

4.根据权利要求2所述的一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，所述上压紧块包括载物板及固定于载物板下方的安装筒，所述球状凸起顶部嵌入载物板内，所述载物板下方固定有安装板，所述安装板具有供球状凸起穿过的开孔。

5.根据权利要求4所述的一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，所述球头顶部及电磁铁底部为平面，所述电磁铁底部与球头顶部贴合。

6.根据权利要求4所述的一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于，所述球头固定于一支撑体上，所述支撑体由驱动装置驱动转动。

7.根据权利要求2所述的磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于：所述上压紧块的端面为平面且间隔设置有沉槽，所述沉槽内设置有安装孔。

8.根据权利要求1所述的磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于：所述球头底部设置有螺栓孔，所述螺栓孔与回转底座固定连接。

9.根据权利要求1所述的磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，其特征在于：所述外罩体和球头材料为铁磁体。