[实用新型]一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构

说明书

本实用新型涉及一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，包括球头及扣于球头上用于承载单晶硅棒的外罩体，所述球头与外罩体之间具有摆动间隙，外罩体内部铰接链接有能吸附球头与外罩体实现外罩体定位的电磁铁。本实用新型可以找到硅晶棒实际轴向重心，调整位置依靠锁紧装置，实现硅晶棒稳定竖立。

技术领域

本实用新型涉及晶硅加工设备技术领域，尤其指一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构。

背景技术

现有开方机一般为立式结构，硅晶棒密度不均匀，理论轴向重心与实际轴向重心不一致，这样会造成硅晶棒放置到下夹持机构时倾斜或无法保持竖立状态，导致无法进行正常加工。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构。可以找到硅晶棒实际轴向重心，调整位置依靠锁紧装置调整位置，实现硅晶棒稳定竖立。

本实用新型的技术方案如下：一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，包括球头及扣于球头上用于承载单晶硅棒的外罩体，所述球头与外罩体之间具有摆动间隙，外罩体内部铰接链接有能吸附球头与外罩体实现外罩体定位的电磁铁。

进一步改进，所述外罩体包括上压紧块和下壳体；所述上压紧块与下壳体固定连接，所述电磁铁顶部具有球状凸起，所述球状凸起嵌于上压紧块内实现电磁铁与外罩体的铰接链接。

进一步改进，所述上压紧块内腔下部与下壳体内腔上部结合处具有球状内腔面，弧形球面与球头之间形成摆动间隙。

进一步改进，所述上压紧块包括载物板及固定于载物板下方的安装筒，所述球状凸起顶部嵌入载物板内，所述载物板下方固定有安装板，所述安装板具有供球状凸起穿过的开孔。

进一步改进，所述球头顶部及电磁铁底部为平面，所述电磁铁底部与球头顶部贴合。

进一步改进，所述球头固定于一支撑体上，所述支撑体由驱动装置驱动转动。

进一步改进，所述上压紧块的端面为平面且间隔设置有沉槽，所述沉槽内设置有安装孔。

进一步改进，所述球头底部设置有螺栓孔，所述螺栓孔与回转底座固定连接。

进一步改进，所述外罩体和球头材料为铁磁体。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供了一种磁吸式单晶硅棒自适应下夹持机构，该装置通过球头与外罩体之间的摆动间隙实现对外罩体位置的调整，依靠电磁铁吸附球头与外罩体实现锁紧，进而调整单晶硅棒的位置，可以找到硅晶棒实际轴向重心，实现硅晶棒稳定竖立。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构剖面示意图(电磁铁未工作状态)；

图2为本实用新型的剖视图(电磁铁未工作状态)；

图3为本实用新型的剖视图(电磁铁工作状态)；

图4为本实用新型的立体图；

图5为本实用新型整体结构的俯视图；

图中附图标记表示为：

10、外罩体；110、上压紧块；120、下壳体；20、球头；30、电磁铁；310、球状凸起；111-载物板；112-安装筒，113-安装板，114-安装孔，210-螺栓孔， 40-摆动间隙。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。