[实用新型]一种测试夹具及PL测试装置有效
| 申请号： | 202220242229.6 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN217278499U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 曾燕 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(成都)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 夹具 pl 装置 | ||
1.一种测试夹具，用于放置硅片，其特征在于，包括：
限位板，所述限位板具有第一表面，沿所述限位板的厚度方向设置有第一凹孔，所述第一凹孔的开口部位于所述第一表面，所述第一表面的边缘设置有与所述第一凹孔贯通的第一开口；
用于放置所述硅片的支撑台，所述支撑台环绕设置于所述第一凹孔的内壁，所述支撑台沿所述厚度方向设置有第二凹孔，所述支撑台具有第二表面，所述第二凹孔的开口部位于所述第二表面，所述第二表面的边缘设置有与所述第二凹孔贯通的第二开口；
其中，所述第一凹孔的开口部与所述第二凹孔的开口部贯通，所述第一开口与所述第二开口贯通。
2.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述第一凹孔的边缘与所述第二凹孔的边缘垂直于所述厚度方向的距离为1mm。
3.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述第一表面与所述第二表面沿所述厚度方向的距离为2mm。
4.根据权利要求2所述的测试夹具，其特征在于，所述第一凹孔垂直于所述厚度方向的截面为方形，所述方形的边长设置为156mm、166mm、182mm或者210mm之中的一者。
5.根据权利要求4所述的测试夹具，其特征在于，所述方形的直角设置为倒45°角的倒直角结构。
6.根据权利要求5所述的测试夹具，其特征在于，所述倒直角结构的直角边长为8.5mm。
7.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述第一凹孔和/或所述第二凹孔设置为通孔。
8.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述第一开口沿所述第一表面的边缘的长度为10mm～20mm。
9.根据权利要求8所述的测试夹具，其特征在于，所述第二开口沿所述第二表面的边缘的长度为10mm～20mm。
10.一种PL测试装置，其特征在于，包括：
权利要求1～9任意一项所述的测试夹具；
用于放置所述测试夹具的检测台；
用于对放置于所述测试夹具的硅片进行检测的PL测试系统。
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