[实用新型]一种三氟化氮用电解装置有效

专利信息
申请号: 202220243329.0 申请日: 2022-01-29
公开(公告)号: CN217298028U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 王杰;王绪坡;达布力干;王大兵;潘波;胡晓晴;苗彦军 申请(专利权)人: 乌兰察布南大微电子材料有限公司
主分类号: C25B1/245 分类号: C25B1/245;C25B9/19;C25B15/021;C25B15/027;C25B9/67
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 卢登涛
地址: 012000 内蒙古自治区乌兰*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 氟化 用电 装置
【权利要求书】:

1.一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:包括电解槽体(14),电解槽体(14)内包括阴极槽(5)和阳极槽(16),所述阴极槽(5)内设有阴极电极(3),阳极槽(16)内设有阳极电极(1),所述阴极电极(3)和阳极电极(1)连接有电解电源(2),阴极槽(5)和阳极槽(16)之间设有隔膜(10),所述阴极槽(5)和阳极槽(16)的下方设有加温区域(11),加温区域(11)内设有加温装置(9),所述加温装置(9)包括若干个加热片(17)组成的加温板,加温板的上方设有接线端子(18),接线端子(18)连接有加温电源,电解槽体(14)的外侧连接有出气管(7),出气管(7)连接有气体收集装置(8),所述电解槽体(14)内设有温度传感器(15),温度传感器(15)连接有控制器,控制器电气连接加温电源,控制器连接有Zigbee发射模块,所述Zigbee发射模块连接有Zigbee路由器,Zigbee路由器对应连接有Zigbee协调器,Zigbee协调器连接有监控中心。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:所述的阴极槽(5)和阳极槽(16)内设有搅拌杆(12),搅拌杆(12)连接有搅拌电机(13)。

3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:所述的电解槽体(14)上还设有三氟化氮检测装置(4),所述三氟化氮检测装置(4)连接控制器。

4.根据权利要求1所述的一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:所述的出气管(7)上连接有出气阀(6),出气阀(6)为电磁阀连接控制器。

5.根据权利要求1所述的一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:所述的温度传感器(15)采用MLX90614红外温度传感器,Zigbee芯片采用CC2530芯片。

6.根据权利要求1所述的一种三氟化氮用电解装置,其特征在于:所述的控制器采用AT89C52型单片机。

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