[实用新型]一种三氟化氮用电解装置

说明书

本实用新型公开一种三氟化氮用电解装置，属于电解装置技术领域，包括电解槽体，电解槽体内包括阴极槽和阳极槽，阴极槽内设有阴极电极，阳极槽内设有阳极电极，阴极电极和阳极电极连接有电解电源，阴极槽和阳极槽之间设有隔膜，阴极槽和阳极槽的下方设有加温区域，加温区域内设有加温装置，加温装置包括若干个加热片组成的加温板，电解槽体内设有温度传感器，温度传感器连接有控制器，控制器电气连接加温电源。在电解槽底部设置了加温区域，能够有效对电解槽内进行加加温，同时具备温度控制装置能够进行温度的采集和控制，借助Zigbee无线组网可以实现多点温度的采集和控制，便于电解装置的统一管理，解决了现有技术中存在的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种三氟化氮用电解装置，属于电解装置技术领域。

背景技术

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。现有技术中三氟化氮通常是通过电解法进行制备，电解是将电流通过电解质溶液或熔融态电解质，在阴极和阳极上引起氧化还原反应的过程，电解槽由槽体、阳极和阴极组成，多数用隔膜将阳极室和阴极室隔开，当直流电通过电解槽时，在阳极与溶液界面处发生氧化反应，在阴极与溶液界面处发生还原反应，以制取所需产品；电解槽平稳运行的两大条件是热平衡和物料平衡，控制好热平衡对电解槽非常重要，热平衡是综合技术条件的反映，现有技术中的电解装置缺少有效的温度控制装置，无法实现电解槽内温度的调节，因此，在制备三氟化氮时容易受到温度的限制从而影响制备的进程，因此，一种具备温度控制装置的三氟化氮用电解装置成为目前的迫切需求。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种三氟化氮用电解装置，解决了现有技术中出现的问题。

本实用新型所述的一种三氟化氮用电解装置，包括电解槽体，电解槽体内包括阴极槽和阳极槽，阴极槽内设有阴极电极，阳极槽内设有阳极电极，阴极电极和阳极电极连接有电解电源，阴极槽和阳极槽之间设有隔膜，阴极槽和阳极槽的下方设有加温区域，加温区域内设有加温装置，加温装置包括若干个加热片组成的加温板，加温板的上方设有接线端子，接线端子连接有加温电源，电解槽体的外侧连接有出气管，出气管连接有气体收集装置，电解槽体内设有温度传感器，温度传感器连接有控制器，控制器电气连接加温电源，控制器连接有Zigbee发射模块，所述Zigbee发射模块连接有Zigbee路由器，Zigbee路由器对应连接有Zigbee协调器，Zigbee协调器连接有监控中心。

所述的阴极槽和阳极槽内设有搅拌杆，搅拌杆连接有搅拌电机。

所述的电解槽体上还设有三氟化氮检测装置，三氟化氮检测装置连接控制器。

所述的出气管上连接有出气阀，出气阀连接控制器。

所述的温度传感器采用MLX90614红外温度传感器，Zigbee芯片采用CC2530芯片。

所述的控制器采用AT89C52型单片机。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

本实用新型所述的一种三氟化氮用电解装置，在电解槽底部设置了加温区域，能够有效对电解槽内进行加加温，同时具备温度控制装置能够进行温度的采集和控制，借助Zigbee无线组网可以实现多点温度的采集和控制，便于电解装置的统一管理，解决了现有技术中存在的问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中加温板的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中温度采集传输的电路连接图；

图4为本实用新型实施例中控制器的电路连接框图；