[实用新型]一种芯片测试针清洁装置有效
申请号: | 202220246619.0 | 申请日: | 2022-01-29 |
公开(公告)号: | CN216802936U | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 吴俊;袁志伟 | 申请(专利权)人: | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
主分类号: | B24B27/033 | 分类号: | B24B27/033;B24B41/04;B24B55/06;B24B47/12;B08B1/04;B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 曾俊杰 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 清洁 装置 | ||
1.一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,包括:
基座(100),所述基座(100)上设置有至少一个安装位(104);
清扫套筒(201),设置在所述安装位(104)上,其内壁设置有环形毛刷(203);
打磨头(202),设置在所述清扫套筒(201)的下端,所述打磨头(202)上设置有凹弧形磨槽(205),所述打磨头(202)连接有转动驱动源(204),所述转动驱动源(204)用于驱使所述打磨头(202)自转;
吹气组件(300),包括气嘴和气泵,所述气嘴和所述气泵通过管道连通,所述气嘴倾斜朝下并对准所述凹弧形磨槽(205)的中心。
2.根据权利要求1所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述打磨头(202)还连接有直线驱动源(206),所述直线驱动源(206)可驱使所述打磨头(202)靠近并与所述清扫套筒(201)驱动连接,所述转动驱动源(204)可通过所述打磨头(202)带动所述清扫套筒(201)转动。
3.根据权利要求2所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述清扫套筒(201)的下端设置有连接槽(207),所述打磨头(202)的上端设置有与所述连接槽(207)相配合的连接销(208)。
4.根据权利要求3所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述连接槽(207)有若干个,并且至少两个所述连接槽(207)的槽深尺寸不一。
5.根据权利要求1所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述环形毛刷(203)的内径自上而下逐渐缩小,并且所述环形毛刷(203)的刷毛自上而下朝向中心轴线倾斜。
6.根据权利要求1所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述清扫套筒(201)外套设有安装套筒(102),所述安装套筒(102)固定安装在所述基座(100)上。
7.根据权利要求6所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,还包括安装板(101),所述安装板(101)上开设有可容所述安装套筒(102)穿过的安装孔,所述安装板(101)盖设在所述安装套筒(102)上并与所述基座(100)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种芯片测试针清洁装置,其特征在于,所述基座(100)通过至少两个卡钳(103)固定安装在治具的一侧。
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