[实用新型]一种适用于真空设备的加热机构有效
| 申请号： | 202220258780.X | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN216752139U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 周广福;韩广龙;高洪涛 | 申请（专利权）人： | 苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H05B3/54 | 分类号： | H05B3/54;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 李祥旗 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 真空设备 加热 机构 | ||
1.一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与所述加热模块连接的检测模块，所述加热模块贴合真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热；所述加热模块包括加热丝以及温度控制器，所述温度控制器控制对应的所述加热模块温度，使若干所述加热模块之间的温度均匀；
所述检测模块包括固定环以及设置在所述固定环内的温度传感器，所述加热丝从所述固定环内环穿过，且与所述温度传感器贴合；
所述固定环与所述真空容器的表面可拆卸连接；
所述温度控制器与对应的所述温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的所述加热丝的加热温度，以使所述加热区域的温度达到目标温度。
2.根据权利要求1所述的一种适用于真空设备的加热机构，其特征在于：所述固定环与所述真空容器表面通过磁力连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于真空设备的加热机构，其特征在于：所述固定环在所述真空容器表面交错布置。
4.根据权利要求3所述的一种适用于真空设备的加热机构，其特征在于：所述加热丝穿过所述固定环后，呈弯曲布置密集分布在对应的加热区域内。
5.根据权利要求1所述的一种适用于真空设备的加热机构，其特征在于：所述固定环外圈设置有温度显示装置。
6.根据权利要求5所述的一种适用于真空设备的加热机构，其特征在于：所述温度显示装置与所述温度传感器电连接。
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