[实用新型]一种适用于真空设备的加热机构有效

专利信息
申请号: 202220258780.X 申请日: 2022-02-09
公开(公告)号: CN216752139U 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 周广福;韩广龙;高洪涛 申请(专利权)人: 苏州昶明微电子科技合伙企业(有限合伙)
主分类号: H05B3/54 分类号: H05B3/54;H05B3/02
代理公司: 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 代理人: 李祥旗
地址: 215123 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 真空设备 加热 机构
【说明书】:

本实用新型公开了一种适用于真空设备的加热机构,包括:加热模块以及与加热模块连接的检测模块,用于对加热模块对应的真空容器的加热区域进行加热;加热模块包括加热丝以及温度控制器,温度控制器控制对应的加热模块温度,使若干加热模块之间的温度均匀;检测模块包括固定环以及设置在固定环内的温度传感器,加热丝从固定环内环穿过,且与温度传感器贴合;固定环与真空容器的表面可拆卸连接;温度控制器与对应的温度传感器电连接,用于根据接收到的对应的加热区域的温度,并控制对应的加热丝的加热温度,以使加热区域的温度达到目标温度,本实用新型通过可拆卸式的固定环,能够便捷的调节加热丝的弯曲布置结构,从而提供适应性的加热效果。

技术领域

本实用新型涉及真空容器加热技术领域,尤其涉及一种适用于真空设备的加热机构。

背景技术

大型超真空容器的真空度通常能够达到lO-5Pa,并且已经广泛应用于受控磁约束聚变装置中。不锈钢结构材料在冶炼过程中,材料长时间接触大气,也会吸附水汽、碳氢化合物及各种杂质,在抽真空时,材料表面气体的解析和扩散衰减非常慢,冷态除气无法满足超高真空容器对真空度的要求,因此需要加热烘烤处理。

现有技术中,超高真空容器的加热烘烤主要有两种方式:一种是在超高真空容器的表面设置加热丝,通过热辐射和传导实现加热烘烤;另一种是真空壁夹层的通道内通入热氮气,通过传导对真空壁进行加热烘烤。但是,前者温控器只能接入一个温度传感器,大型真空容器表面积很大,需要布置较长的加热丝,且不同部位的障碍物分布情况不同,使得单个测温点不能有效反映真实的温度分布,容易导致烘烤不均匀,并且当下多采用将加热丝直接焊接在真空容器外表面的方式,不但对真空容器造成不可逆转的损伤,也不利于后续对加热丝位置的调节。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足,提供一种适用于真空设备的加热机构。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种适用于真空设备的加热机构,包括:加热模块以及与所述加热模块连接的检测模块,所述加热模块贴合真空容器的表面,用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热;所述加热模块包括加热丝以及温度控制器,所述温度控制器控制对应的所述加热模块温度,使若干所述加热模块之间的温度均匀;所述检测模块包括固定环以及设置在所述固定环内的温度传感器,所述加热丝从所述固定环内环穿过,且与所述温度传感器贴合;所述固定环与所述所述真空容器的表面可拆卸连接;所述温度控制器与对应的所述温度传感器电连接,用于根据接收到的对应的加热区域的温度,并控制对应的所述加热丝的加热温度,以使所述加热区域的温度达到目标温度。

本实用新型一个较佳实施例中,所述固定环与所述真空容器表面通过磁力连接。

本实用新型一个较佳实施例中,所述固定环在所述真空容器表面交错布置。

本实用新型一个较佳实施例中,所述加热丝穿过所述固定环后,呈弯曲布置密集分布在对应的加热区域内。

本实用新型一个较佳实施例中,所述固定环外圈设置有温度显示装置。

本实用新型一个较佳实施例中,所述温度显示装置与所述温度传感器电连接。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷,本实用新型具备以下有益效果:

本实用新型通过可拆卸式的固定环对加热丝在真空设备表面进行固定,不但能够便捷的调节加热丝的弯曲布置结构,从而提供适应性的加热效果,还能够通过固定环对穿过其的加热丝进行针对性的温度检测,从而对加热效果进行实时的调节。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图;

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