[实用新型]一种磷化铟无尘装料装置

说明书

一种磷化铟无尘装料装置，涉及一种填料装置，包括机架，机架前有前门，前门下有操作门，操作门内设密封手套，机架两侧有流出门，流出门内有防尘布帘及吸尘风扇，流出门一侧有传输装置，传输装置在机架内，机架底有底箱，机架顶有除尘装置，除尘装置有机械手，机械手上有储料区且储料区在机架内，机架后有后门，机械手包括移载模组A、移载模组B及移载模组C。通过该装置可实现，隔离式人工操作台及自动化装料装置，使该装置在人工基础上连接自动化生产线，避免人工接触磷化铟，避免磷化铟造成人体损伤；使用丝杆运动模组，提升装填精度，同时提高取料爪行程，简化移载装置结构空间，便于日常维护；有除尘装置，减少灰尘进入，避免造成原料污染。

技术领域

本实用新型涉及一种填料装置,尤其涉及一种磷化铟无尘装料装置。

背景技术

磷化铟作为一种用于芯片制造的原料，需要从多晶磷化铟原料转化成单晶磷化铟，在这一过程中，需要通过一系列工艺操作达到转化目的。在这一过程中，磷化铟首先需要在生长炉中进行转化的第一步，而将磷化铟及其他填充物放入到生长炉中往往是人工进行装填，而磷化铟及其他填充物，人体直接接触会对人体造成损伤，如致癌；同时在人工填料中对于无尘环境的需要，往往也无法达到。为了解决上述技术问题，特提出一种新的技术方案。

实用新型内容

本实用新型提供了一种磷化铟无尘装料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种磷化铟无尘装料装置，包括机架，机架的前端设有前门且两者之间设有密封层，前门的下方设有操作门，操作门的内部设有密封手套，机架的两侧设有流出门，流出门的内部设有防尘布帘及吸尘风扇，流出门的一侧上设有传输装置，传输装置位于机架的内部，机架的底部设有底箱，机架的顶部设有除尘装置，除尘装置的下方设有机械手，机械手的一侧上设有储料区且储料区设在机架的内部，机架的后端设有后门，所述的机械手包括移载模组A、移载模组B及移载模组C，移载模组A设在机架的内部，移载模组A的顶部设有移载模组B，移载模组B上设有移载模组C。

所述的移载模组A包括基座A、电机A、支架轴、同步带轮组AE、同步带轮组AF、丝杆组A、导轨A及滑块A，基座A设在机架的内部，基座A的一端上设有电机A，电机A的输出轴上设有同步带轮组AE，同步带轮组AE的一端上设有支架轴的轴段，支架轴的一端上设有同步带轮组AF，同步带轮组AF的一端上设有丝杆组A且丝杆组A位于基座A的顶部，基座A的顶部设有导轨A，导轨A上设有若干个滑块A且两者之间为滑动连接。

所述的移载模组B包括基座B、桁架、加强筋B、电机B、连接板BE、连接板BF、安装板B、滑块B、导轨B、丝杆组B及联轴器，基座B上设有桁架且两者之间设有加强筋B，桁架的一端上设有电机B，电机B的输出轴上设有丝杆组 B且两者之间设有联轴器，丝杆组B位于桁架的一侧上，丝杆组B上设有丝杆滑块且丝杆滑块之间设有连接板BE，连接板BE的一侧上设有连接板BF，连接板 BF的底部设有安装板B，安装板B与桁架之间设有导轨B，导轨B上设有若干个滑块B且两者之间为滑动连接，滑块B的顶部与安装板B的底部连接。

所述的移载模组C包括基座C、加强筋C、导柱、上安装台、电机C、电机座、轴承、丝杆组C、下安装台及爪子座，基座C上设有若干个加强筋C且加强筋C的一端与移载模组B连接，基座C的内部设有若干个导柱且两者之间为滑动连接，导柱的一端上设有上安装台，安装台的顶部设有电机座，电机座的顶部设有电机C，电机C的输出轴上设有丝杆组C，丝杆组C中的丝杆滑块固定在基座C的内部，导柱的另一端上设有下安装台，下安装台的底部设有爪子座。

本实用新型的有益效果为：设有隔离式人工操作台及自动化装料装置，使得该装置可以在人工装料的基础上连接自动化生产线，避免人工过多的接触磷化铟，避免磷化铟造成人体损伤；使用丝杆运动模组，有利于提升装填精度，同时提高取料爪行程，简化移载装置的结构空间，便于日常维护；设有除尘装置，减少灰尘的进入，避免造成原料污染。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；